目的 : 一激光扫描显微镜和一其表面形状是提供一种测量的方法,以提供数据具有通过使用亮度高精度的信息。<\/P>
构成 : 一激光扫描显微镜(100)包括一个光偏转部分(9),一个光学检测部分,Z束扫描部,一控制部分(16),和一个操作处理部(19)。光偏转部分的一个面方向上扫描激光的光分析物(3)独立地...
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