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  • 用于在扫描电子显微镜中获得地形暗场图像的设备和方法
  • 中文摘要:一种电子束装置被配置用于衬底表面的暗场成像。 暗场被定义为图像对比度对表面地形特征敏感的一种工作模式。 源产生一次电子束,扫描偏转器配置成偏转一次电子束,以便在衬底表面上扫描一次电子束,由此从衬底表面发射二次和/或后向散射电子,所述发射电子形成散射电子束。 束分离器被配置为将散射的电子束与初级电子束分离。 所述装置...
  • 申请日:2008-8-19    申请号::US12194153

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  • 扫描电子显微镜
  • 中文摘要:为了实现该目的,作为本发明的实施例的包括形成聚光透镜的永磁体的扫描电子显微镜包括用于调节电子源和阳极电极之间的距离的机构。 此外,用于调节电子源和阳极电极之间的距离的机构包括布置在阳极电极的下部的可移除间隔件。
  • 申请日:2008-8-19    申请号::US12194141

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  • 显微镜物镜和放大成像装置
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一个显微镜物镜使均匀的一较宽的范围中具有高可靠性测量。溶液 : 该显微镜物镜包括校正环(2,3,4,G3,G4)和可变孔径光阑(5,6,7)。所述的问题是通过设置该问题校正环的一个对象上侧,而不是所述可变孔径光阑。版权 : (C)2010,inpit
  • 申请日:2008-8-19    申请号::JP2008210317

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  • 与空间光调制显微镜术有关的设备和方法
  • 中文摘要:与显微镜有关的设备和方法,所述显微镜具有接触样品和/或光检测器的光的特定控制,所述光检测器诸如用户的眼睛、电荷耦合器件或摄像机。 改进的控制包括对照射角度、光的量和到达样品和/或检测器的光的位置的增强的选择性控制。 显微镜包括在显微镜的照明和/或检测光路中位于物镜的孔径光圈的共轭像平面和样品的共轭像平面中的一个或两...
  • 申请日:2008-8-19    申请号::US12194513

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  • 显微镜物镜装置
  • 中文摘要:一种显微镜物镜装置,其设在目镜下方,其特征在于:所述物镜装置由外套、 伸缩筒组件和设于外套上方的上盖筒组成;外套为管状,其纵向设有穿孔,侧壁 开有一窗口;伸缩筒组件由设于外套内并可旋转的外筒、设于外筒内并可上下移 动的内筒和设于内筒底部的物镜组成。本物镜装置组装完好后,上盖筒与外套套 接,通过外筒的旋转带动内筒的旋...
  • 申请日:2008-8-15    申请号::CN200820146471.3

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