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| - 扫描探针显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以解决该问题，即一个高度精确的测量结果不能得到由于失真一种测量在测量的漂移造成的图像的一图案形状和图案排列在纳米量级在所述半导体的字段和存储具有进一步增加在该未来的需求。溶液 : 一个先前选择的参考图案的区域是在一定期间定时测量的测量一个测量区的与一个扫描探针显微镜样品的特性，和一个探头被校正的位...
- 申请日：2008-8-8 申请号：：JP2008205235
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- 用于形成激光束显微镜装置，包括对称的装置，其与所述激光束相互作用以被形成，叠加装置用于定位两段或部分...
- 中文摘要：一激光束的装置，用于所述赋形，综合symmetrisiermittel，这样的一种方式中，其与所述激光束(27); 其可以被形成，可以使bereichsweise交互后，所述倒数的效果至少两个横向方向中的所述激光束(27)不同的部分或局部喷嘴(27a，27b)所述激光束(27)是空间相干的，以每个其它至少用于点或点...
- 申请日：2008-8-8 申请号：：DE102008037042
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- 用于原子力显微镜的二维微动平台和微力学参数测试方法
- 中文摘要：本发明涉及一种用于原子力显微镜的二维微动平台及力学参数的测定方法，其特征在于二维微动平台的中心开孔用于安装PZT扫描管，其中在互相垂直的X和Y位置上分别有两个调节旋钮，两个调节旋钮连接两个驱动杆，两个驱动杆与PZT扫描管连接，所述的二维微动平台固定在底座上。本发明所述的二维微动平台水平方向上的移动范围为3×3平方毫...
- 申请日：2008-8-8 申请号：：CN200810041517.X
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- 共焦扫描型显微镜装置
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种技术用于高度精确地感测液体的存在或不存在浸没在不过度复杂化，该系统。溶液 : 所述共焦扫描型显微镜1包括一激光光源2，一盖玻璃8用于固定一个样品16，一物镜透镜7用于汇聚从所述激光光源2发出的入射光到所述样品16，一电磁镜4用于扫描所述与所述物镜透镜7会聚的光在样品16表面，一个共焦小孔...
- 申请日：2008-8-7 申请号：：JP2008204463
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- 扫描探针显微镜
- 中文摘要：在测量具有陡峭侧壁的图案的情况下，当接近图案侧壁时，探针通过作用在探针和侧壁之间的范德华力粘附到侧壁，并且在侧壁部分的测量轮廓中出现误差。 当测量具有几乎等于探针直径的凹槽宽度的图案时，探针粘附到两侧壁，探针不能到达凹槽底部，并且不能测量凹槽深度。 当在使用细长探头的微观高纵横比图案的测量中探头粘附到图案侧壁时，通...
- 申请日：2008-8-7 申请号：：US12187430
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