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| - 用于扫描探针显微镜探针单元
- 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种用于扫描探针显微镜探针单元适合用于利用用于严格管理该一种形状的深度具有一个相对大孔径500nm到一个几微米的尺寸,一种深度的一几微米,和一种高方面比例如一种通过孔的连接每个布线层和管理所述的一个底部分表面粗糙度。溶液 : 所述用于扫描探针显微镜探针单元10包括一杆部13具有一个固定端和所...
- 申请日:2008-4-9 申请号::JP2008101953
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- 纵横转置全低压低温漂扫描探针显微镜镜体
- 中文摘要:本实用新型纵横转置全低压低温漂扫描探针显微镜镜体包括探针、样品和并排站立并固定于 基座上的两个压电管,探针与样品分别设置于这两个压电管的自由端,探针与样品间的间隙 调节方向与两个压电管的轴线方向垂直,两个压电管中至少包含一体或分体设置的一个X定 位、一个Y定位和一个Z定位。本实用新型是一种把探针与样品间距的调节方向...
- 申请日:2008-4-9 申请号::CN200820035096.5
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- 扫描探针显微镜
- 中文摘要:本发明提供一种扫描探针显微镜,其能够在基本上不发生探针滑动或样品变形的状态下进行高精度的三维轮廓测量。 本发明利用扫描探针显微镜实现高精度的三维轮廓测量, 其中该方法通过使探针在测量点接触样品,然后移动到下一个测量点,进行测量以获得精确的三维轮廓,而不会对样品造成损伤, 其中,将探针向上拉起并暂时缩回,然后移动到下...
- 申请日:2008-4-8 申请号::US12099176
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- 扫描显微镜
- 中文摘要:一扫描显微镜包括一个样品架装置(10),一显微镜头(12)和一移动装置。该显微镜头包括一个物镜(14),一辐射供应装置(16)和一个辐射接收装置(22)。与所述的助一移动装置,所述整个显微镜头(12)是在至少一个水平移动方向,最好是一个水平平面。
- 申请日:2008-4-8 申请号::EP08103423
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- 显微镜装置
- 中文摘要:通过一衍射光栅产生衍射光(8)通过一个第二的物镜(9),极化由一反射镜(205)和所述表面上形成一个条中的照明光图案的一个样品(11)。因此,通过一个第一的物镜产生的荧光(10)从所述样品(11)通过第一目的透镜(10),所述反射镜(205)和第二的物镜(9),和形成一个样品(11)的图像在所述衍射光栅(8)。当所...
- 申请日:2008-4-7 申请号::WOJP08056883
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