目的 : 一种电子显微镜测得的数据被提供以防止所述的失真从检测器通过定位所述检测器,以所述相同的位置。<\/P>
的结构 : 所述室(100)提供了一个真空空间。一种样品被装载在该表形成在所述真空空间,该室具有一个腔室盖。一种扫描装置(200)被连接在所述室的所述上部和投射电子光束所述样品上。该扫描仪包括...
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