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  • 扫描电子显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜所述装置,其是适合用于监控的条件,不具有依赖于所述的静电电荷的存在或样品倾斜,或该等。溶液 : 为了解决该问题,所述扫描电子显微镜中被提出,其是配备有一功能其基于被监控设备条件一种状态中获得的信息,其上的电子束不到达一个样品。作为更具体的例子,通过所述样品上施加一负电压,该...
  • 申请日:2008-3-5    申请号::JP2008054229

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  • 扫描电子显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜能精确地测量一个样品电位或一个样品的高度; 同时,防止损坏和通过一个带电粒子辐射等。溶液 : 为了解决所述的主题,该扫描电子显微镜被设置到测量该样品的高度和使用获得的测量结果该样品的电位在所述施加一个电压到一个样品的状态,从而不以得到一种电子光束的所述带电粒子辐射到该样品,...
  • 申请日:2008-3-5    申请号::JP2008054227

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  • 低加速电压的X-射线显微镜装置
  • 中文摘要:要解决的问题 : 提供一种X-射线显微镜装置可以得到足够高的分辨率,高对比度,即使用于一微由光元件和观察该样品的样品在原位状态。溶液 : 一个X-射线显微镜装置被提供与一个X-射线生成装置,所述电子束照射从该电子源一种电子枪到所述的X-射线靶,以产生X-射线和一种成像装置的成像所传输的X-射线照射以样品与成像元件。...
  • 申请日:2008-3-4    申请号::JP2008052874

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  • 原子力显微镜
  • 中文摘要:它是可能的,以提供一种原子力显微镜,其可抑制引起的图像劣化,以一高速通过降低扫描所述以下尽可能多的作为可能的误差。为了达到上述目的,所述原子力显微镜图像的一样品表面的表面形状在接触模式。所述原子力显微镜包括 : 一悬臂具有一探头,其与所述样品表面相互作用通过所述原子力,使得所述原子力产生一翘曲; 激光的光提供装置,...
  • 申请日:2008-3-4    申请号::WOJP08053869

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  • 原子力显微镜
  • 中文摘要:

    要解决的问题 : 以缩短所述AFM测量的测量时间和以减少所述样品的损伤。?

    溶液 : 该原子力显微系统,用于成像的一个分接模式中所述样品表面的形状,具有一探针与所述的表面相互作用的所述样品通过原子力,并包括一悬臂,一激光束提供装置,一个光检测装置,一个振幅调制器-解调器,一个压电元件,一个控制器,用于估计...

  • 申请日:2008-3-3    申请号::JP2008052663

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