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  • 静电荷测量方法、焦点调整方法及扫描电子显微镜
  • 中文摘要:本发明的目的是提供一种在通过扫描电子束测量样品的静电荷量或焦点调节量时,能够基于电子束扫描引起的静电荷存储来抑制静电荷量或散焦误差的方法和装置。为了达到上述目的, 根据本发明的一个方面,提出了一种静电电荷测量方法、焦点调节方法或扫描电子显微镜,用于通过在移动电子束在样品上的扫描位置的同时改变对能量滤波器的施加电压来...
  • 申请日:2008-2-27    申请号::US12038641

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  • 电子显微镜
  • 中文摘要:本发明的目的是防止被物镜的磁场或电极板的电场吸引并粘附到物镜或电极板的表面上的异物在样品的观察过程中掉落并粘附在样品的表面上。为了达到上述目的, 一种电子显微镜,其中当待测样品从物镜下方移开时,关闭对扫描电子显微镜物镜的激励电流或使其激励弱于待测样品移开之前,或关闭对加速电子束的加速筒施加的电压或使其低于待测样品移...
  • 申请日:2008-2-27    申请号::US12038076

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  • 用于制备磨床传输电子显微镜的样品
  • 中文摘要:

    目的 : 用于传输电子显微镜样品的制备是提供一种磨床,以使所述的电子材料的快速薄的样品或所述陶瓷材料。<\/P>

    构成 : 用于制备所述磨床传输电子显微镜的样品包括所述抛光垫,和所述样品固定装置(10)和移动工具。样品固定装置是设置在所述抛光垫。所述可动的平均移动所述所述抛光垫样品上的固定装置,所述样品固...

  • 申请日:2008-2-27    申请号::KR1020080017921

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  • 二次反射的电子-电子检测装置,和扫描电子显微镜具有二次反射的电子-电子检测装置
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以选择性地检测一个二次电子信号和一个反射关于一种二次反射的电子-电子信号电子检测装置和一种扫描电子显微镜具有所述二次反射的电子-电子检测装置。溶液 : 这是一种二次电子-电子检测装置,其检测二次电子的或反射的反射产生的电子从一个测试片的一电子显微镜和包括一个二次电子检测部30,它是由一电晕的环31...
  • 申请日:2008-2-27    申请号::JP2008045694

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  • 用于电子显微镜的样品架,和电子显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种用于一种显微镜,其可观察样品架几乎的一个总区域一个与使用高分辨率扫描电子显微镜的样品,并提供一种电子显微镜配备有这种用于显微镜样品架。溶液 : 用于电子显微镜样品架20上,该电子束将通过一个支持的样品S由栅极28和通过一个孔径构件31具有一主体部分21连接到一个一种扫描电子显微镜的样品架...
  • 申请日:2008-2-27    申请号::JP2008046652

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