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| - 高通量扫描电镜工具
- 中文摘要：描述了一种扫描带电粒子束装置(100)。 扫描带电粒子束装置包括用于发射一次电子束的射束发射器(102)，用于在样品上扫描射束的第一扫描级，适于从一次电子束中分离信号电子束的消色差射束分离器(130)，以及用于检测信号电子的检测单元(172, 174, 178)。
- 申请日：2008-2-22 申请号：：US12528306
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- 偏振成像装置和差分干涉显微镜
- 中文摘要：[问题]，以提供一个差分干涉显微镜，其可以同时获得的光强度的信息和相位信息。[装置，用于解决的问题]一种差分干涉显微镜的图像是通过使用一个偏振成像装置观察其可以获得一种偏振状态的一个空间分布在一个成像通过组合一偏振器阵列在其传输轴方向被改变一像素单元和一个成像元件中。通过执行计算从此，它是可能的，以获取所述强度信息...
- 申请日：2008-2-22 申请号：：WOJP08000307
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- 扫描电子显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以得到一种稳定的电子图像通过有效地加热样品不被影响的一个真空的程度。溶液 : 一种扫描电子显微镜10包括一个透镜镜筒部分12和一个样本室22。所述样品室22包括一个检测器26，一个样品架30，一气体入口端口50，和一个排气端口52。一个加热室31的样品架30包括 : 一开口32通过电子束施加从电子...
- 申请日：2008-2-19 申请号：：JP2008038092
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- 扫描电子显微镜具有长度测量功能和样品尺寸长度测量方法。
- 中文摘要：一种扫描电子显微镜测量的一长度具有一功能与所述测量的长度的一减小的变化值由于一个测量对象和所述图案的形状与长度的一个改进的精度测量，和一个样品尺寸测量方法被提供。该扫描电子显微镜测量的一长度(100)具有一种功能包括一个电子枪(1)发射一个电子束，一个测量对象区域设定部(50)用于设置一个测量区上形成一图案的一样本...
- 申请日：2008-2-18 申请号：：WOJP08052649
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- 低电压场致发射扫描电子显微镜
- 中文摘要：一显微镜和一个微观上分析该样品的表面的方法(3)被提出，包括至少所述以下步骤 : I。一种电子发射器之间的相对移动实现尖端(1)和所述样品的表面，从而作为以扫描它在两个横向尺寸，使用一个电子发射体尖端(1)与一个有效发射的半径等于或小于2nm作为通过所述富勒-诺德海姆确定的关系; II。这种相对移动期间使发射的电子...
- 申请日：2008-2-18 申请号：：EP08002916
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