|
| - 超分辨近场光学显微镜中的扫描镜
- 中文摘要：提供了一种具有超分辨率的扫描光学测量设备。 所述扫描光学测量装置包括 : 光源； 第一透镜，其聚焦从所述光源照射的光； 第一销孔，设置在所述第一透镜的旁边； 第二透镜，所述第二透镜使穿过所述第一销孔的光发散； 扫描单元，扫描通过所述第二透镜的光； 第一分束器，设置在所述第二透镜与所述扫描单元之间； 物镜，其将通过所...
- 申请日：2008-2-18 申请号：：US12739266
-
- 显微镜物镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一个显微镜物镜，其具有一高倍率和高数值孔径和被良好地校正各种像差中。溶液 : 该显微镜物镜OL包括 : 一个第一透镜组G1，它包括两个正弯月透镜L1及L2其凹表面被转动到一个物体O侧，和具有正折射光焦度; 一个第二透镜组G2，其包括至少三组三个-胶合透镜的cl21，cl22，和cl23和具有...
- 申请日：2008-2-18 申请号：：JP2008035905
-
- 照明模块，用于操作显微镜中的特定
- 中文摘要：所述的照明模块(100)具有一光源，其包括一白光-发光二极管(LED)。所述发光二极管是提供用于红色光，并用于绿光。所述的照明模块包括一个光混频器单元，其混合所述的所述白光的光-发光二极管与光所述红色光LED和所述绿光LED，以使可用的白色照明光在所述的照明模块的一个出口。一控制单元(104)被提供给控制每个LED...
- 申请日：2008-2-16 申请号：：EP08002910
-
- 原子力显微镜和用于校正扫描图像的方法，其
- 中文摘要：
目的 : 一种原子力显微镜和所述相同的图像的补偿方法被提供给执行表面的一样品在超高速使用一种开环模式。<\/P> 构成 : 一种原子力显微镜包括一个三-维扫描器(100); 一感测单元(200)，一个光学检测器(150)，一控制器(300)。所述三个三维扫描器包括一个级(110)和一悬臂(120)。一种样... - 申请日：2008-2-15 申请号：：KR1020080014056
-
- 控制用于图案形成方法在光刻中使用原子力显微镜
- 中文摘要：
目的 : 一种图案形成控制方法在使用AFM是提供一种光刻以形成一光刻图案与该级的特定高度和宽度虽然速度被改变。<\/P> 构成 : 一图案形成控制方法在光刻使用AFM包括一步骤建立所述变化率的该级的驱动电压(Vs)被相对下在该阶段驱动电压的峰值和最低点。所述级驱动电压被用于当该阶段被移动到AFM探针或所述... - 申请日：2008-2-15 申请号：：KR1020080014053
-
|