|
| - 扫描电子显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种技术能够执行精确的自动聚焦调整，当多个外来的物质或图案，其可以仅通过一特定检测器被成像的存在和被独立地包括的。溶液 : 一种扫描电子显微镜包括多个二次产生的信号的检测器用于检测从一样品通过照射电子束到所述样品，和一计算装置，用于组合所获得的信号从所述检测器; 至少两个所述检测器被设置的对...
- 申请日：2007-11-16 申请号：：JP2007297380
-
- 扫描电子显微镜
- 中文摘要：一种技术，即使当独立地包括能够仅由特定检测器成像的多个图案或异物时，也稳定地执行自动聚焦调节。 可以拾取诸如具有弱对比度的凹凸图像之类的图像。 即使在图像中难以找到聚焦位置，该技术也能够自动聚焦这样的图像。 一种扫描电子显微镜，包括 : 多个检测器，用于检测当用电子束照射样品时来自样品的二次信号；以及计算单元，用于...
- 申请日：2007-11-15 申请号：：US11984319
-
- 扫描电容显微镜和光谱学的装置和方法
- 中文摘要：本发明描述了一种用于测量扫描探针显微镜的导电尖端和样品表面之间的电容的装置和技术。 将高频数字矢量网络分析仪连接到原子力显微镜悬臂的探针尖端，并由数字计算机使用AFM控制器和矢量网络分析仪之间的数字触发信号来协调数据收集。 本发明描述了用于在样品上的单点处成像尖端-样品电容和光谱测量的方法。 描述了一种用于系统校准...
- 申请日：2007-11-15 申请号：：US11985597
-
- 扫描电子显微镜
- 中文摘要：扫描电镜由一个初级的电子源的，设备到所述初级电子加速到所需的动能; 磁物镜(3)与光学轴，扫描系统(6)，用于扫描所述初级电子在一个样品的光束和所述二次电子探测器(5)。磁物镜(3)由第一双磁极片的透镜(3a)位于更靠近所述测得的样品(4)和从这种转门样品(4)在第一工作距离(WD1)，和第二的双磁极片透镜(3b)...
- 申请日：2007-11-15 申请号：：WOCZ07000105
-
- 扫描电子显微镜
- 中文摘要：扫描电镜由一个初级的电子源的，设备到所述初级电子加速到所需的动能; 磁物镜(3)与光学轴，扫描系统(6)，用于扫描所述初级电子在一个样品的光束和所述二次电子探测器(5)。磁物镜(3)由第一双磁极片的透镜(3a)位于更靠近所述测得的样品(4)和从这种转门样品(4)在第一工作距离(WD1)，和第二的双磁极片透镜(3b)...
- 申请日：2007-11-15 申请号：：WOCZ07000105
-
|