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  • 设备和方法用于扫描电容显微镜和光谱学
  • 中文摘要:一种装置和技术用于测量所述电电容的一个导电的尖端之间的一个扫描探针显微镜和一样品表面被描述。一个高频率的数字矢量网络分析仪是连接到所述悬臂的所述探针尖端的一个原子力显微镜,和数据收集是通过一个数字计算机协调所述AFM之间使用数字触发信号控制器和该矢量网络分析仪。用于成像的尖端-样品的电容和光谱测量方法在一个单点在所...
  • 申请日:2007-11-15    申请号::WOUS07024091

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  • 使用扫描电子显微镜检查晶片背面的设备
  • 中文摘要:

    目的 : 一种装置用于检查一后表面的一晶片使用SEM(扫描电子显微镜)被提供到把握一后表面的缺陷的晶片通过使用一个逆变器,用于翻转该晶片上。<\/P>

    构成 : 一个逆变器(200)。一晶片上的匝数。一种对准器(350)是相邻的所述逆变器。一种第一的机器人臂(370)将所述晶片以所述对准器。一种第二的机器...

  • 申请日:2007-11-14    申请号::KR1020070116071

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  • 紫外线显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一个紫外线显微镜能够提供惰性的气体以一个样品的表面同时确保良好的可操作性。溶液 : 该显微镜1,其辐射紫外线光到所述样品3,使得该光学图像的所述样品5月3日被观察到是配备有一物镜透镜30用于紫外线光,其中连通孔34沿一个形成光学轴线L1和其吹离所述惰性的气体向该样品3从一个孔径部分32a,和...
  • 申请日:2007-11-14    申请号::JP2007295804

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  • 扫描电子显微镜的selbstadaptivitt
  • 中文摘要:本发明涉及一种过程用于确定一用于所述分配的决策准则的像素的一个数字化一个电子显微镜对一个对象的许可或到所述背景,与其中一个滤波器具有不同的颗粒材料被插入到一种扫描电子显微镜和画面被吸收,通过电子领域中的所述滤波器具有一种扫描电子显微镜。用于所有图片textureal取所有的像素特性被计算。所述特性的区域中的一个分类...
  • 申请日:2007-11-14    申请号::DE102007054392

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  • 校准用标准参考部件、其制造方法和使用该标准参考部件扫描电子显微镜
  • 中文摘要:本发明提供了一种用于执行高精度扫描电子显微镜中的放大校准的校准的标准参考部件,并提供了使用该标准参考部件的扫描电子显微镜技术。 本发明提供了一种用于校准扫描电子显微镜的标准参考部件,所述扫描电子显微镜根据关于二次电子或反射电子的强度的信息来测量观察区域中的图案的长度,所述二次电子或反射电子是通过在测量样品上扫描所述...
  • 申请日:2007-11-14    申请号::US11939596

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