目的 : 一种装置用于检查一后表面的一晶片使用SEM(扫描电子显微镜)被提供到把握一后表面的缺陷的晶片通过使用一个逆变器,用于翻转该晶片上。<\/P>
构成 : 一个逆变器(200)。一晶片上的匝数。一种对准器(350)是相邻的所述逆变器。一种第一的机器人臂(370)将所述晶片以所述对准器。一种第二的机器...
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