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| - 相位对比显微镜
- 中文摘要:要解决的问题 : 以促进样品与一个相位对比显微镜观察。溶液 : 从一个光源发出的照明光穿过狭缝41的一相位差环27以作为待收集由一聚光透镜23和引导到样品72。所述的照明光穿过该样品72是一相位差板42上入射的一相位差环28通过一物镜透镜24。所述的照明光的衍射所述样品72是入射在所述之外的部分比所述相位差板42所...
- 申请日:2007-11-14 申请号::JP2007295641
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- 束装置和系统包括一个粒子光束装置和一光学显微镜
- 中文摘要:本发明是指一束装置(1),在特定的一个粒子光束装置,用于分析一个对象(12),作为以及一系统包括一个粒子光束用于光学装置和一光学显微镜分析的对象。它是本发明的一个对象,以提供一束装置(1)包括一装置,以简化该所述的交换的交换和以减少该时间要检查的对象。根据本发明的一束装置(1)是提供包括至少一个光束发生器(2),其...
- 申请日:2007-11-13 申请号::EP07120619
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- 扫描电子显微镜分辨率的测定方法
- 中文摘要:一种确定扫描电子显微镜分辨率的方法,包括 : 在扫描测量对象的扫描期间使用由扫描电子显微镜提供的对象的图像;在扫描电子显微镜扫描对象的图像期间从该对象的图像获得关于扫描电子显微镜分辨率的信息; 并利用该信息来确定扫描电子显微镜的分辨率。
- 申请日:2007-11-13 申请号::US11983622
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- 束装置和系统包括一个粒子光束装置和一光学显微镜
- 中文摘要:本发明是指一束装置(1),在特定的一个粒子光束装置,用于分析一个对象(12),作为以及一系统包括一个粒子光束用于光学装置和一光学显微镜分析的对象。它是本发明的一个对象,以提供一束装置(1)包括一装置,以简化该所述的交换的交换和以减少该时间要检查的对象。根据本发明的一束装置(1)是提供包括至少一个光束发生器(2),其...
- 申请日:2007-11-13 申请号::EP12191504
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- 聚焦装置和显微镜设备
- 中文摘要:要解决的问题:提供一种能够进行优选聚焦的聚焦装置以及具有该聚焦装置的显微镜装置。 解决方案:该装置包括:第一检测装置,用于产生表示物镜的焦点位置和透射对象的成像位置的位移的第一散焦信号; 确定装置,用于通过预先在聚焦感测光接收元件上存储基准位置,基于聚焦感测光接收元件的输出信号和基准位置,确定是否对多个反射面中的期...
- 申请日:2007-11-9 申请号::JP2007292278
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