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| - 扫描电子显微镜
- 中文摘要：
目的 : 一种扫描电子显微镜被提供到所述倾斜一由所述的悬挂引起的晶片的所述晶片在一种通过安装一晶片保持器设定单元在交换室。<\/P> 构成 : 一种扫描电子显微镜包括 : 一装载器腔室，其具有一交换室(10)在其一个晶片是在备用，和一主腔室，其测量所述晶片的临界尺寸。所述交换室包括一个下板(11)支撑该晶... - 申请日：2007-11-9 申请号：：KR1020070114243
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- 激光显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以容易地调整激光束以具有一个理想的光束直径匹配与所述光瞳一物镜透镜的直径在低的成本通过使用一个紧凑的传感器。溶液 : 所述激光显微镜1包括 : 一激光束源2; 一光束扩展器10用于调整所述光束的直径所述激光束从所述激光束源l1emitted2; 一功率表13用于检测所述的光量的所述激光束L1其直径...
- 申请日：2007-11-9 申请号：：JP2007292438
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- 扫描电子显微镜
- 中文摘要：
目的 : 一种扫描电子显微镜被提供以防止流入空气中颗粒的有效通过组合一边缘部分的一装载器门具有一凹槽和一室上形成一突起部和所述凹槽。<\/P> 的结构 : 腔室包括一样品，在晶片供应端口(111)的上侧的一个部分上。一种下气缸(120)位于所述底部上的所述腔室。一种板(130)是位于在所选择的所述失主空气... - 申请日：2007-11-9 申请号：：KR1020070114093
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- 具有时间常数测量能力扫描电子显微镜
- 中文摘要：在扫描电子显微镜中，为了获得稳定的图像，确定了减少一次电子束和二次电子偏转量的最佳扫描方法。 能量滤波器用于区分能级。 所获得的电子的屈服值的变化被用来测量样品电位的变化。 提取了电子束辐照过程中产生的电荷时间常数。 基于提取的时间常数对扫描方法进行了优化，以减小扫描电镜图像中出现的畸变和放大倍数变化。
- 申请日：2007-11-7 申请号：：US11936377
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- 光学装置和显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以使样品的光入射在所希望的位置。溶液 : 该显微镜11包括一个转向镜46之间提供一个观察摄像机29用于成像一个试样22和一物镜透镜24，以改变所观察的光学路径从所述样品的光22通过转动反射表面。该显微镜11还包括一隔膜42用于通过激励光通过一个共轭的位置与所述观测摄像机29。所述从一个荧光激励光源...
- 申请日：2007-11-7 申请号：：JP2007289272
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