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  • 显微镜
  • 中文摘要:一种显微镜具有一个epifluorescence照明光学系统,其包括一个物镜,一个成像透镜,用于形成一个通过投影光图像的一样品,其穿过所述物镜,一个成像元件设置在一位置。其中所述样品图像是通过所述成像透镜成像,一种照明光源,和一种二向色镜用于引导从该照明光源的光到所述物镜侧上的光学路径,和所述epifluoresc...
  • 申请日:2007-10-19    申请号::WOJP07070405

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  • 集成扫描探针显微镜和共聚焦显微镜
  • 中文摘要:当样品从一种类型的显微镜转换到另一种类型的显微镜时,组合的共焦和扫描探针显微镜系统允许样品在视野内的精确定位。 备选实施例允许两个显微镜同时观察相同的样品位置。 进一步的替代实施例包括集成到公共光路中的共焦显微镜和探针显微镜。
  • 申请日:2007-10-19    申请号::US11975548

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  • 一种用于临界尺寸原子力显微镜的摇摆Y型探针
  • 中文摘要:当特征尺寸小于100纳米时,测量集成电路上的结构的表面轮廓是困难的。 原子力显微镜在平坦的水平表面上提供表面轮廓测量能力,但是对于诸如MOS晶体管栅极,接触孔和通孔,互连沟槽和光致抗蚀剂图案的三维结构具有困难。 本发明公开了一种原子力显微镜探针,其具有两个原子尖端,所述尖端被构造成便于三维结构的测量。 还要求保护一...
  • 申请日:2007-10-18    申请号::US11874613

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  • 结构化的照明系统用于三个三维显微镜样品,具有光的光束生成单元形成源,调制器,衍射网络和滤波器,产生非...
  • 中文摘要:本发明的照明结构(8)是指一种系统用于三-维的显微样品(14)包括\/理解 : -装置生成的光束的(9,10,16,20)设置,以产生相干光束的光(在,中,I0); -一个物镜(12)具有一个焦平面推迟(pfa),所述物镜被设置成使得所述样品(14)。可能被定位在所述计划开发的(pmp)的所述物镜; -装置的聚焦(...
  • 申请日:2007-10-18    申请号::FR07007299

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  • 用于光刻的方法和装置使用扫描探针显微镜
  • 中文摘要:

    目的 : 一种光刻装置和使用一种探针显微镜是提供一种方法绘制所建立的数学模型所述光刻根据所述特定条件的结果到数据库。<\/P>

    构成 : 一个电压施加单元(110)是由中心控制的控制单元(100)。该电压施加单元执行所述授权该电压到所述样品的光刻,电流检测单元(120)测量所产生的微电流通过所述电压的电压...

  • 申请日:2007-10-18    申请号::KR1020070104876

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