目的 : 一种光刻装置和使用一种探针显微镜是提供一种方法绘制所建立的数学模型所述光刻根据所述特定条件的结果到数据库。<\/P>
构成 : 一个电压施加单元(110)是由中心控制的控制单元(100)。该电压施加单元执行所述授权该电压到所述样品的光刻,电流检测单元(120)测量所产生的微电流通过所述电压的电压...
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