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| - 焦点调整装置和显微镜装置
- 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一焦点调整装置在其一个用于进行聚焦检测所需的时间被一图案投影系统中缩短。溶液 : 所述焦点调整装置包括 : 一种投影装置将图案投影在一个测量物体通过的一个部分一种光瞳的一个物镜; 一个光接收装置包括一个光接收元件行包括一个多个的聚焦检测光接收元件接收图案反射从所述测量对象图像; 一个聚焦检测...
- 申请日:2007-10-17 申请号::JP2007270199
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- 显微镜
- 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种显微镜,其被容易地组装和可靠地提供了一种超分辨率的效果。溶液 : 所述的显微镜观察样品39中的一个希望的分子具有 : 光源装置(11和12)用于发射的泵浦光激励所述分子从一个稳定状态到一第一激励状态和擦除的光激发所述从第一激发分子激发状态到一个第二状态; 光学系统(35,36和37)用于...
- 申请日:2007-10-17 申请号::JP2007270463
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- 生成的图案使用原子力显微镜纳米构图
- 中文摘要:
目的 : 所述的方法制造使用所述原子力显微镜纳米构图是提供所述图案,以提高所述的高度所述纳米氧化结构超过100所述光刻中使用所述原子力显微镜纳米。<\/P> 构成 : 该方法用于制造所述图案使用所述原子力显微镜包括如下。一步骤是用于照射该离子束的质子或所述所述基板上的氩。一步骤是用于执行所述原子力显微镜所... - 申请日:2007-10-17 申请号::KR1020070104745
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- 一种扫描电子显微镜
- 中文摘要:
目的 : 一种扫描电子显微镜被提供以实现一种紧凑的结构通过安装一控制器内部的一扫描电子显微镜体。<\/P> 构成 : 一种扫描电子显微镜主体(10)包括一样品架(11),和一种电子设备的光学单元(20)。被安装在所述扫描电子显微镜主体以被垂直于所述样品架,所述电子设备的光学单元为在相反的方向以所述样品架,... - 申请日:2007-10-16 申请号::KR1020070104243
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- 体视显微镜透射照明装置
- 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种立体显微镜透射照明装置能够获得均匀的照明,即使如果它是切换到一亮场光学系统或一个暗视场光学系统。溶液 : 该立体显微镜透射照明装置包括 : 一扩散部件7,其可以被移动到或缩回从所述一光源1发射的光学轴设置在一个传输照明安装和扩散的光射线从所述光源1; 该亮场光学系统15包括一第一偏转构件...
- 申请日:2007-10-16 申请号::JP2007269395
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