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| - 原子力显微镜系统
- 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种轻敲模式的原子力显微镜(AFM)其观测精度被提高。溶液 : 所述原子力显微镜系统相关,以本发明的可视化所形成的所述样品的表面在该轻敲模式,并包括 : 所述前端的一悬臂; 一激光的光供给装置; 一个光检测装置; 一个压电元件具有一其上的样品; 一控制装置,用于控制所述压电元件,以扫描该样品...
- 申请日:2007-9-13 申请号::JP2007238219
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- 原子力显微镜和探针
- 中文摘要:要解决的问题 : 以实现一种原子力显微镜的探针具有高特性的频率,即使在空气或液体中,同时降低该流体电阻。溶液 : 在一种原子力显微镜的探针10,表面形状信息是通过固定一种探针16获取一个转动体17上,具有圆形横截面,可旋转与相对于支承梁12,13的所述两个端部和扫描一待测物体。所述转动体17被连接到所述支撑梁12,...
- 申请日:2007-9-12 申请号::JP2007236099
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- 半导体线宽测量扫描电子显微镜的自动镜头校正方法
- 中文摘要:本发明公开了一种半导体线宽测量扫描电子显微镜的自动镜头校正 方法,通过对产品实际线宽测量过程中,对待测图形在自动对焦时在不同 焦距的图形进行图形质量分析来确定电子光学系统中的像差,并且根据该 像差偏差的严重性做出是否进行测量结果修正,自动像差调整,或者人工 像差调整。本发明在不影响生产的同时,对光学系统的较小偏差进...
- 申请日:2007-9-11 申请号::CN200710094080.1
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- 电子数码显微镜
- 中文摘要:本实用新型涉及一种电子数码显微镜,特别是一种在底座上安装有用于显示物镜采集的视频信息的显示屏。其包括外壳、安装在外壳内支架上的物镜,外壳包括底座、立柱、支架,立柱固定安装在底座上,支架安装在立柱正面的传动机构上,物镜安装在支架内,外壳的底座上通过支撑杆安装有用于观看物镜采集到的信息的显示屏。本实用新型在电子显微镜的...
- 申请日:2007-9-11 申请号::CN200720171767.6
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- 变焦显微镜
- 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一具有一激光扫描共焦光学系统的变焦显微镜可操作的在联动与一变焦的观察光学系统。溶液 : 所述变焦显微镜包括 : 所述变焦的观察光学系统10包括一物镜透镜11,孔径光阑12; 一个远焦变焦系统13,和一种图像形成的光学系统14在样品41的顺序从所述侧; 一光学路径分元件(M1)的所述物镜之间设...
- 申请日:2007-9-11 申请号::JP2007235737
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