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| - 显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 提供一种显微镜，其使操作在所述激光的照射形状的光朝向所述试样，更有效和容易地以照射和观测该样品。溶液 : 该显微镜一种具有激光光源21，22; 一可视场光阑29设置在所述样品共轭的位置到所述表面12; 一衍射扩散板27设置在一预定距离从所述激光的光之间的所述视场光阑源和所述的可视场光阑; 和一个中...
- 申请日：2007-8-3 申请号：：JP2007203433
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- 自动聚焦装置和具有相同的显微镜装置
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一个自动聚焦装置，其可以设置，在短时间周期，所述光发射一光源，其中一个适当的光量的体积使入射在光感测元件，和以提供一配备与所述相同的显微镜装置。溶液 : 所述自动聚焦装置1包括 : 一个光电转换器30; 一光源20用于聚焦; 一种照明光学系统5用于聚焦，它形成一个光图像基于从所述光发射的光一...
- 申请日：2007-8-3 申请号：：JP2007203408
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- 带电粒子束装置、扫描电子显微镜及使用该带电粒子束装置样品观察方法
- 中文摘要：一种带电粒子束装置，通过在不增加一次电子束的像差的情况下有效地检测二次信号，从观察图像中检测缺陷，从而提高检测速度和提高检测灵敏度，从而获得高清晰度和高对比度的观察图像。 用一次带电粒子束扫描样品的所需区域，通过一次带电粒子束的照射从该区域二次产生的二次带电粒子与二次电子转换电极碰撞，然后通过样品侧二次电子转换电极...
- 申请日：2007-8-3 申请号：：US11882701
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- 扫描电子显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以防止通过限制图像的分辨率的容量降低分散的电子在一个小的扫描电子显微镜使用一个聚光透镜，其中排除了一种调节功能的诸如轴对准和强度。溶液 : 在所述扫描电子显微镜，其中所述内管的内部中用于通过电子束被建立到被真空和一种低真空观测与物镜之间设置限制是可能的所述内管和一个样本室，两个级物镜限制单元具有另...
- 申请日：2007-8-3 申请号：：JP2007203142
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- 照明装置，照明方法和扫描光学显微镜
- 中文摘要：发射器激发光(108)，其具有波长λ1a发出的光源(101)被收集，通过收集透镜(102)到发射极(107)。发射器(107)保持在基板(104)，和具有发出荧光的波长λ的与发射器激发光照射时2a(108)具有的波长，λ1a，由于发射器(107)的直径(a)小于波长λ2A，荧光包括瞬逝波并沿基板(104)作为对象的...
- 申请日：2007-8-2 申请号：：WOJP07065146
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