扫描探针显微镜，和使用该相同的测量膜厚度分布的方法 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜具有一个空间分辨率可达到所述周边为中心在10纳米，能够定量地获取信息的一种膜的厚度或其上分布的一种介电薄膜，以及一(非常薄的电介质)膜厚度分布测量显微镜使用所述的方法。溶液 : 所述扫描探针显微镜包括一个导电衬底3装载与该介电薄膜2和具有一个接地电位，一扫描台5配备有一扫描... 申请日：2007-7-31    申请号：：JP2007198811   扫描探针显微镜的快速针尖扫描 中文摘要：一种原子力显微镜装置，扫描设置在x-y平面中的样品，所述样品具有表面，所述表面具有在垂直于x-y平面的z方向上的特征。 所述装置包括细长臂，所述细长臂具有枢转点并且可围绕所述枢转点在x-y平面中旋转； 以及探针尖端子结构，其包括(i)探针尖端和(ii)尖端致动器。 探针尖端子结构设置在细长臂上距枢轴点预定距离处，其... 申请日：2007-7-31    申请号：：US11831672   用于扫描探针显微镜高带宽致动器驱动器 中文摘要：一种用于具有用于测量样品的探针的扫描探针显微镜(SPM)系统中的致动器子系统，包括致动器和致动器驱动电路。 致动器在SPM系统中操作以在探针和样品之间产生相对运动，同时SPM系统收集指示样品性质的数据。 相对运动包括至少1微米的运动范围。 致动器驱动电路向致动器施加驱动信号以引起相对运动，并且具有至少200kHz的... 申请日：2007-7-31    申请号：：US11831175   共焦单元，共焦显微镜，共焦显微镜系统，和共焦显微镜系统控制的程序 中文摘要：要解决的问题 : 检测一均匀的适当的图像，而不需要严格的调整和控制用于扫描。溶液 : 所述共焦单元包括 : 一其上形成的光学系统照明光从光发射源是由入射和其中形成的多个的线照明光束; 一个通过照明光学系统，其中所述的线照明光通量是光引导到一个对象被检查; 一扫描部分由其所述被检查对象的照明光束的是使用所述的扫描线;... 申请日：2007-7-31    申请号：：JP2007199268   模块装置用于数字全息图显微镜 中文摘要： 目的 : 一数字全息图一种模块结构的显微镜单元被提供以降低其空间尺寸和到构建一种适用于一空间限制的，而不考虑硬件系统的各种测量和检查设备中的字段包括一个检查单元的半导体设备和一个检查单元的液晶显示设备。<\/P> 构成 : 一光源单元包括一个光源(1)。用于输出一激光束，一第一用于聚光透镜所述激光束作为平... 申请日：2007-7-31    申请号：：KR1020070076645   总计： 14021 篇   首 页  上一页  下一页  末 页