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| - 扫描探针显微镜
- 中文摘要：一扫描探针显微镜显示出高灵敏度，以一悬臂和样品之间的交互，其中所述的悬臂所述扫描探针显微镜在FM模式振荡稳定，即使一个低机械的环境中的Q。一种驱动具有一频率信号靠近所述谐振频率的一悬臂(4)被供给从一信号发生器(9)。以一种振荡激发装置(10)因此对该悬臂(4)以分别激发的振荡(强制振荡)。(1)所述驱动信号的频率...
- 申请日：2007-7-19 申请号：：WOJP07064237
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- 扫描探针显微镜
- 中文摘要：一种扫描探针显微镜，其具有悬臂，该悬臂被安装成在样品的表面上经历振荡运动。 悬臂在其远端具有探针。 Z轴控制量计算机构计算用于使悬臂的摆动量保持恒定的控制量。 Z轴驱动机构根据来自Z轴控制量计算机构的控制量在Z方向上驱动悬臂或样品。 驱动范围限制装置限制Z轴驱动机构的驱动范围。 驱动范围设定装置可选择地设定Z轴驱动...
- 申请日：2007-7-19 申请号：：US11879878
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- 扫描电子显微镜的分辨率评价用试样和方法以及电子显微镜
- 中文摘要：在监视扫描电子显微镜的分辨率的情况下， 为了高精度地测量电子束尺寸的变化，需要制备样品并使用测量算法以减小要测量的分辨率的指数值的图案依赖性。 根据本发明， 使用截面形状适于监测分辨率的样品， 即，样品具有这样的截面形状，使得图案的侧壁倾斜，以防止照射到样品上的电子束撞击到图案的侧壁上。 利用这种结构，可以执行不依...
- 申请日：2007-7-19 申请号：：US11779899
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- 用于显微镜的光学装置，测量显微镜，和图像测量机
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种光学装置用于一种显微镜，测量显微镜和一个图像测量机; 能够容易地观察内的壁的一圆柱形构件，而不需要一个特殊的照明系统。溶液 : 该光学装置\/测量显微镜\/图像测量机是提供具有一物镜透镜32使用作为测量对象所述圆柱形构件1与一个照明范围包括所述内壁1a和所述中央部1b在一侧多个从其内，和...
- 申请日：2007-7-19 申请号：：JP2007188134
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- 显微镜装置
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一显微镜装置，其防止了如病理组织到被拍摄的样品与一个从通过加热从一个表面被损坏的显微镜光源使用许多发光二极管，和其可以得到清晰的和精确的摄影图像。溶液 : 所述的显微镜装置包括 : 一摄影单元，用于拍摄一图像传输的光的所述样品S通过拍摄该样品S一种载玻片P保持在所述的上表面上的一个样品台2通...
- 申请日：2007-7-19 申请号：：JP2007188561
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