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| - 半导体装置的拓扑利用原子力显微镜测量方法
- 中文摘要：目的 : 一种用于测量一个拓扑的一种半导体装置的方法通过使用一种原子力显微镜是提供以通过测量图案搜索一个自动的一位置识别一个对准键。结构 : 一个对准键的位置和一个测量目标图案的一位置被测量通过使用一个激光束(S301)。一种图案识别文件被产生(S302)。一种原子力显微镜根据位置数据移动到下一个目标晶片的所述图案...
- 申请日：2007-5-11 申请号：：KR1020070045897
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- 用于表面的光学显微镜观察
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种显微镜，其使它可能以容易地观察该表面的微细不规则性一种的样品，其可以使用未被检测到的亮或暗视场。溶液 : 一个所述的原因，为什么所述的不规则性的不能区分即使在暗视场是使; 在一传统显微镜，入射光，用于观察在一个暗视场发出的是从一间隙一个透镜筒和所述的外围之间的一个物镜，作为图中示出。6，...
- 申请日：2007-5-11 申请号：：JP2007126208
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- 干扰的物镜，和与干扰的干扰显微镜装置的物镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种廉价的干扰物镜能够容易地获得不只有一个干扰的图像但还一亮场图像的对比度好，和以提供一干扰显微镜装置与所述干扰物镜透镜。溶液 : 这种干扰显微镜装置包括 : 所述干扰物镜透镜1上方设置一样品11和具有一个物镜透镜10，第一分束器12和一个参考表面13; 一种观察光学系统2的上方设有所述干扰...
- 申请日：2007-5-9 申请号：：JP2007124501
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- 激光扫描型显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以执行更适当的荧光观察通过解除所述用户的负担。溶液 : 一激光扫描型显微镜1是配备有 : 一多光子激发照明光学系统3包括一个脉冲激光光源2发射超短脉冲激光的光; 一一个光子激励照明光学系统5，它包括一种连续激光光源4发射连续激光的光; 一种扫描光学系统6，其中二维地扫描所述激光发射的光从这些照明光...
- 申请日：2007-5-9 申请号：：JP2007124829
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- 光学显微镜，聚焦位置调整方法，和用于图案的基板的制造方法
- 中文摘要：要解决的问题 : 提供一光学显微镜能够安全地和容易地调整的聚焦，和以提供一个聚焦位置调整方法，使用它和一用于一图案的基板的制造方法。溶液 : 该光学显微镜包括 : 一光源11; 一个第一的光屏蔽部分31设置出一光学轴38; 一个第二的光屏蔽部分32设置，使得从这到所述光学轴线的距离38是由较短; 一种照明光学系统2...
- 申请日：2007-5-9 申请号：：JP2007125039
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