目的 : 一种高速高精度的原子力显微镜可得到精确的纳米拓扑数据通过使用一个绝对位移传感器和一相对位移传感器。<\/P>
构成 : 一个高速高精度的原子力显微镜包括一个悬臂(102),一个致动器(103),和一第一和第二感测单元(201)。所述悬臂沿向上和向下移动时所述测量对象的形状。所述致动器控制,使得所...
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