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| - 扫描探针显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜，其可以测量三-维形状精确的信息以及作为样品上的局部特性的分布信息，而不损坏所述样品的更高的吞吐量。溶液 : 该显微镜配备与光敏感的样品和探针之间的接近传感器，以控制方法，达到的速度升压每个测量区域的方法。另外，所述探针是间歇地与所述样品接触以获得样品的高度数据作为不与所述...
- 申请日：2007-3-27 申请号：：JP2007080478
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- 自旋极化的扫描电子显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 提供一装置能够执行的测量，同时保持次级电子收集效率和所述自旋极化的程度，并施加一高磁场具有的电平不小于1kOe到样品，在一个自旋极化的扫描电子显微镜。溶液 : 该自旋极化的电子扫描显微镜包括 : 一个照射光学系统照射一磁材料样品202与一主电子束从电子枪发射的; 样品安装装置，用于在其上安装所述样...
- 申请日：2007-3-26 申请号：：JP2007080181
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- 用于自动聚焦方法在扫描电子显微镜
- 中文摘要：目的 : 一种方法用于调整焦点的一种扫描电子显微镜被提供以准确地检测一个尺寸上形成一图案的一个主题通过所述对象获得一精确的图像。结构 : 一种扫描电子显微镜包括一阶段(10)用于主体(30)，一种检查部件，和一个自动聚焦部件，所述检查部件包括一个透镜组件(22)，一个检测器(24)，和一个ADC(模拟数字转换器)(...
- 申请日：2007-3-26 申请号：：KR1020070029168
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- 线宽测量调整方法和扫描电子显微镜
- 中文摘要：目的 : 一种线宽测量调整方法和一种扫描电子显微镜测得的结果被提供以避免差通过调节电子束强度分布。结构 : 一种扫描电子显微镜(100)包括一个电子扫描单元(10)，一信号处理单元(30)，一种图像显示单元(40)，和一个控制单元(20)用于控制每个部分的所述的电子扫描单元，所述信号处理单元，和所述图像显示单元，所...
- 申请日：2007-3-26 申请号：：KR1020070029451
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- 线宽测量调整方法和扫描电子显微镜
- 中文摘要：一种线宽测量调整方法，其是第一和第二的电子束强度分布时使用的用于测量一个线宽度是从强度分布的图像产生二次通过扫描一第一照射距离分别获得的电子与电子束在第一放大，并通过扫描一第二与一电子束照射距离在第二放大率; 包括调节所述的步骤第二所述电子束的电子束强度分布在第二放大率这种该第二电子束强度分布是等于第一所述电子束的...
- 申请日：2007-3-26 申请号：：KR1020070029451
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