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| - 显微镜
- 中文摘要：一个用于传统的荧光显微镜(EPI-荧光显微镜)和用于总内部反射镜被描述。一个第一的光沿第第一照明源发射的传统荧光灯照明光路和第第二光源发光的瞬逝沿第第二照明的照明光路从第一不同的照明路径。一物镜发射光到一个要观看的对象。一种合束器将所述两束光到所述物镜，同时保持它们的光束路径几何上分开的。所述光束合路器包括至少两个...
- 申请日：2007-2-12 申请号：：DE102007018922
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- 显微镜用于E。G。的总内部反射镜，具有光源和光束结合装置，其是通过在光学路径通过改变显微镜的机构和适...
- 中文摘要：显微镜以传统的fluoreszenzmikroskopie(EPI荧光)和以总内部反射镜，具有至少源的光(1)用于传统的光的荧光照明和至少源(2)用于evaneszente照明和具有物镜(4)，其中的所述光的光源(1，2)在不同的照明路径(5，6)进入照明光通过一个辐射一些(7)成该物镜(4)和从在所述样品存在(8...
- 申请日：2007-2-12 申请号：：DE102007007395
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- 狭缝扫描共焦显微镜和获取图像的方法
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一狭缝扫描共焦显微镜，其中所述分辨率在所述的纵向方向中一狭缝被增强。溶液 : 当道威棱镜11之间插入一个扫描光学系统6和一物镜透镜7，一种光通量通过90a转动所述狭缝2°和所述的图像和一个由90a°扫描方向转动。两个种的一个对象的图像7以被观察到的是通过一种状态中执行成像产生其中所述之间的道...
- 申请日：2007-2-9 申请号：：JP2007031200
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- 扫描电子显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜具有良好的聚焦响应，在一个使用一个电磁物镜透镜。溶液 : 该扫描电子显微镜是提供具有一扫描装置扫描的电子束在样品，检测装置在产生从所述样品中的至少一个二次电子检测或反射电子，一显示装置显示样品图像基于检测到的信号上产生由所述检测装置，电磁物镜透镜给出所述电子束的聚焦作用到被...
- 申请日：2007-2-9 申请号：：JP2007029942
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- 使用扫描电子显微镜测量图案尺寸的方法
- 中文摘要：为了提供一致的， 快速， 一种基于电子束模拟的高精度测量方法，通过在电子束模拟中反映CD-SEM的设备特性， 本发明公开了一种用CD-SEM测量测量目标图案的方法，该方法包括以下步骤 : 对反映设备特性和图像采集条件的各种目标图案形状进行电子束模拟； 产生SEM模拟波形； 将所创建的SEM模拟波形和对应于所创建的S...
- 申请日：2007-2-9 申请号：：US11673057
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