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  • 扫描探针显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以执行快速和精确的原子跟踪与相对于一个扫描探针显微镜。溶液 : 所述显微镜包括一个第一压电元件20安装在一悬臂; 一个第二压电元件30设置在一个样品; 一生成单元40产生正弦波和余弦波和将它们应用于一压电元件1; 一个振荡器2施加一个其输出到所述压电元件1的Z-压电; XY驱动单元81输出一个驱动...
  • 申请日:2007-2-7    申请号::JP2007027479

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  • 与透射电子显微镜相结合的用于定量纳米压痕的可致动电容传感器
  • 中文摘要:一种可致动电容式换能器,包括换能器主体,包括可移动电极并被电配置为静电致动器的第一电容器,以及包括可移动电极并被电配置为电容式位移传感器的第二电容器,其中第二电容器包括多板电容器。 所述可致动电容式换能器还包括 : 耦合轴,所述耦合轴被配置为将所述第一电容器的可移动电极机械耦合到所述第二电容器的可移动电极,以形成可...
  • 申请日:2007-2-7    申请号::US11672489

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  • 浸物镜透镜和具有相同的显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一浸物镜的透镜能够防止污染的所述关键部分的一个光学系统,通过取污染采取防止浸渍液体。溶液 : 所述物镜用于浸渍1被配置成包括一圆柱形壳体部分5; 一圆柱形透镜保持器部分3,它是容纳可滑动地在所述外壳部分; 一个或多个磁体17,其被设置在至少一个所述的内圆周表面在所述所述顶部的端部附近的所述壳...
  • 申请日:2007-2-6    申请号::JP2007026970

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  • 隔膜E。G。视场光阑,定位装置,用于E。g。逆荧光显微镜,具有隔膜与手动驱动或驱动单元的主动连接,其...
  • 中文摘要:一种机构是打算用于屏幕定位在显微镜,其覆盖一个屏幕载体,使该领域中的屏幕电平(4)的一显微镜的照明机构或其它合适的位置处该光线的路径中通过显微镜被设置和其上的那些,形成屏元件的所述屏幕(12至15; 23至26; 28至31)是可调节地设置。所述屏幕载体上的两个是,一个与所述Z-轴(10)中所述的照明光束路径sen...
  • 申请日:2007-2-6    申请号::DE102007005790

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  • 衍射光束分束器I。E。衍射光光束整形元件,用于显微镜的照明系统,具有光学系统E。G。凸透镜,提供给平...
  • 中文摘要:以创建中的顺序diffraktiven分束器,用于形成diffratkiv光学辐射中的赋形元件(DOE)光学系统,其在用于显微镜的照明安装在半导体制造,以分配供给相干多个部分中的发光光束入口发光光束计划是,和其缺点,其出现与diffraktiv辐射的光学元件用于任务所使用的赋形,在特定与所述的一种diffrakti...
  • 申请日:2007-2-6    申请号::DE102007005791

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