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| - 原子力显微镜悬臂及其制造方法
- 中文摘要：本发明涉及通过使用光刻工艺和蚀刻工艺形成的各种类型的原子力显微镜(AFM)悬臂及其制造方法， AFM悬臂包括由半导体衬底制成的处理单元， 悬臂单元，该悬臂单元以杆的形式延伸形成在所述搬运单元的底表面上， 探针单元通过在悬臂单元的一个侧面上延伸形成为竖直突出的峰的形状，并且探针通过在探针单元的峰上形成而与待分析对象的...
- 申请日：2006-12-21 申请号：：US11614492
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- 显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以快速和可靠地使试样放入一聚焦的参考范围内。溶液 : 该显微镜100包括一个聚焦机构5通过其一种样品1所述的位置相对于物镜3在聚焦方向被改变。所述显微镜包括 : 一个摄像机10观测从所述样品发出的光进行光电检测1通过所述物镜透镜3; 一确定部16a，其确定基于所述照相机10所述的检测值是否所述的相...
- 申请日：2006-12-21 申请号：：JP2006344679
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- 包括场效应晶体管的原子力显微镜悬臂及其制造方法
- 中文摘要：本发明涉及一种包括场效应晶体管(FET)的AFM悬臂及其制造方法； 更具体地说，本发明涉及一种用于制造包括通过光刻工艺形成的FET的AFM悬臂的方法，其中FET的有效沟道长度是非O级。 因此，本发明可以通过精确地控制有效沟道长度来容易地实现用于制造包括He FET的AFM悬臂的模拟。 此外，本发明可以通过应用低成本...
- 申请日：2006-12-21 申请号：：US11614489
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- 方法用于操作一个含有一个扫描探针显微镜测量系统，和测量系统
- 中文摘要：本发明涉及一种方法用于操作一个含有一个扫描探针显微镜测量系统，特别是一种原子力显微镜，和以一种用于检查一测量样品的测量系统使用一个扫描探针显微镜和用于光学检查所述样品。在所述的方法，一种光学图像的一个待检查的测量样品的测量部分，所述图像被记录与所述的助一光学记录装置，是一种显示装置上显示，一个选择的一种所述的光学图...
- 申请日：2006-12-21 申请号：：WODE06002298
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- 显微镜和使用所述的相同方法
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种显微镜，其中一个照明头可以被固定在一预定位置; 当执行透射照明的观察和所述的照明头可自由旋转的偏置时的发射照明观察被执行。溶液 : 该显微镜配备有一显微镜体，一种照明光源和一个臂部连接所述显微镜体和所述的照明光源具有 : 一个在一个方向观察光学系统具有一个光学轴垂直于所述一阶段的放置表面...
- 申请日：2006-12-21 申请号：：JP2006344753
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