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  • 脉冲激光的光的定时调整装置,调整方法,和光学显微镜
  • 中文摘要:它是可能的,以提供一脉冲激光束的定时调整装置,一个定时调整的方法,和一光学显微镜能够容易地调整所述脉冲激光束的定时。所述的光学显微镜包括 : 一对的反射镜(21,31)使用所提取的光束从光束采样器(15; 16),以产生一第一定时调整的光学光束在其一个第一脉冲激光束(ω1A)被延迟从一第二脉冲激光束(ω2a),和第...
  • 申请日:2006-11-20    申请号::WOJP06323080

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  • 聚焦状态检测部件,扫描电子显微镜,聚焦条件调整方法,焦点调整方法,和焦点深度测量方法。
  • 中文摘要:

    要解决的问题 : 以降低机会和时间与电子束照射样品在设定的一个所述电子束的聚焦条件在一个电子束装置。

    溶液 : 电子束照射表面13a是用于检测一电子束的聚焦状态B一种扫描电子显微镜的1。所述电子束照射表面13a在所述高度方向中的一个位置是不同的是一种光学轴所述电子束B的方向依赖其在平面方向上,和产生至少任...

  • 申请日:2006-11-16    申请号::JP2006310510

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  • 扫描电子显微镜
  • 中文摘要:本发明涉及一种扫描电子显微镜包括一次电子源,一种用于加速所述一次电子装置所需动能,磁性物镜(3)具有光轴,光栅系统(6),用于扫描光束的一次电子沿图案,和二次电子检测器(5)。所述磁性物镜(3)由第一极透镜(3a)位于更靠近样品(4)的位置,测量(4)从这个样品(4)和躺在第一工作距离(WD1),和第二两个极透镜(...
  • 申请日:2006-11-16    申请号::CZ20060721

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  • 扫描电子显微镜
  • 中文摘要:rastrovacelektronovmikroskop obsahuje zdroj primnh elektronu,prostredky Pro urychlenprimnh elektronu Na podovanou kinetickou energii,magnetickobjektiv(3)majop...
  • 申请日:2006-11-16    申请号::CZ19210067

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  • 自动聚焦检测器,其控制方法,和显微镜系统
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一个自动聚焦检测器能够进行实时时间的后续AF到一个观看点仅由决定一聚焦位置,以通过一个用户被观察到。溶液 : 所述的自动聚焦检测器包括 : 一驱动装置,用于控制该级的相对位置到所述物镜一种显微镜的; 一个光投影装置,用于投影光到一样品通过所述物镜; 一用于检测一个反射光学图像检测装置,其是通...
  • 申请日:2006-11-15    申请号::JP2006309272

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