要解决的问题 : 以降低机会和时间与电子束照射样品在设定的一个所述电子束的聚焦条件在一个电子束装置。
溶液 : 电子束照射表面13a是用于检测一电子束的聚焦状态B一种扫描电子显微镜的1。所述电子束照射表面13a在所述高度方向中的一个位置是不同的是一种光学轴所述电子束B的方向依赖其在平面方向上,和产生至少任...
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