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  • 半导体\/陶瓷组合用于扫描探针显微镜的悬臂
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以廉价地制造一种利用用于一种扫描探针显微镜的悬臂在高成品率和可靠性。溶液 : 一用于构成所述悬臂探针是通过一半导体或半导体相关制造的材料通过一体成形。一个大座(主要用于一装置附件)是由一种陶瓷制造的,一个玻璃或晶体。所述悬臂是通过粘接或粘接和结合形成所述探针和所述大座。版权 : (C)2008,i...
  • 申请日:2006-11-15    申请号::JP2006309313

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  • 扫描电子显微镜中微纳米尺寸的测定方法
  • 中文摘要:一种在扫描电子显微镜中确定微和纳米物体的尺寸的方法, 包括以下步骤 : 获得扫描电子显微镜中物体的实验视频信号, 根据所获得的实验视频信号确定对象的大小, 基于从实验视频信号获得的对象的尺寸和扫描电子显微镜中对象的其它值计算模型视频信号,从模型视频信号确定对象的尺寸,基于从实验视频信号获得的对象的尺寸和从模型视频信...
  • 申请日:2006-11-15    申请号::US11599556

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  • 相衬电子显微镜
  • 中文摘要:一个共焦方法使用一聚光透镜和一个前物镜在所述入射侧和一后物镜在所述出射侧透镜和一个投影透镜,其是对称布置,相对于样品被配置在这种方式,其一个空间滤波器可以被插入到所述的前和后面所述样品。因此,它是可能的,以利用该优点在于,所述共焦的方法,其一个空间滤波器可以被安装在前所述的样品和消除该缺点的该传统的传输相衬电子显微...
  • 申请日:2006-11-14    申请号::WOJP06322680

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  • 用于显微镜和具有相同的显微镜聚焦检测装置
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一个聚焦检测装置用于一种显微镜,其中一个自动聚焦可控范围被宽和聚焦精度高,和以提供一种具有这种装置的显微镜。溶液 : 所述聚焦检测装置200用于该显微镜包括 : 一个第一的投影光学系统20用于将图案投影通过一单个样品上的狭缝1形成通过物镜3为了检测聚焦; 一个第二的投影光学系统30用于通过多...
  • 申请日:2006-11-14    申请号::JP2006308130

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  • 显微镜物镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一个显微镜物镜,其具有一程度的数值孔径的0.65和一宽波长区域中具有一彩色像差校正范围从紫外线到近红外(405nm至1, 064纳米)。溶液 : 显微镜物镜的透镜是由一个正的第一透镜组G1,一个正第二透镜组G2和一负第三在该顺序从所述物体侧透镜组G3,其中一个消色差透镜,在其一个正透镜和负透...
  • 申请日:2006-11-13    申请号::JP2006306223

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