|
| - 基于参考估计的扫描探针显微镜纳米位置传感与表面估计
- 中文摘要：在扫描探针显微镜的状态空间控制器中引入替代的参考信号输入，以提高跟踪效率。
- 申请日：2006-9-28 申请号：：US11536501
-
- 显微镜及显微镜自动对焦方法
- 中文摘要：本发明提供一种显微镜及显微镜自动对焦方法。 显微镜，包括：光学系统，用于放大检体；调焦装置，用于调 节光学系统的焦点，使其对焦于检体；光学探测器，用于探测 通过光学系统的光线；测焦装置，用于在光学系统相对于检体 振动时，根据探测到的透过该光学系统的光线，估测光学系统 对检体的聚焦位置；以及控制器，根据测焦装置测定的...
- 申请日：2006-9-28 申请号：：CN200610141058.3
-
- 用于localdissolved调查的方法和装置的柔性特性的样品与光栅力显微镜
- 中文摘要：本发明涉及一种用于局部解析方法分析样品的弹性性能，所述方法包括以下步骤 : 一AFM针尖(20)移动到样品上的点上方的位置(12)；B的AFM针尖(20)移动靠近样品点和接触刚度的组件第一中确定的方向偏离垂直于样品由最大20A°的平面，C部件的接触刚度，在样品点被确定在第二平行的方向的样品平面，和d接触刚度的部件在...
- 申请日：2006-9-27 申请号：：DE102006045643
-
- 电子显微镜和固体观测方法。
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种固体观测方法和一种电子显微镜能够完全和准确的评估一种电子装置的结构或与一种三-维结构等。溶液 : 通过测量强度的电子束通过改变焦点的位置发送一个样品42所述电子束在该样品42的深度方向与所使用的所述的电子显微镜配备有一电子枪40产生电子束，一会聚透镜44会聚的电子束通过所述的电子枪40产...
- 申请日：2006-9-27 申请号：：JP2006262009
-
- 用于调查的显微镜具有不同厚度的掩模，具有照明装置，其具有光源，和具有照明光学系统使待检查掩模与照明辐...
- 中文摘要：一种显微镜是由可用以该掩模(M)与不同厚度的调查，与一照明装置(1)，所述一个源的光(3)，所述的照明辐射传递，和一种照明光学系统(6，10)显示出，其中一个掩模，其可以检查与照明辐射(L1)点亮和用于一个预确定的掩模的厚度被校正，并与一个检测装置(2)用于检测所述照明掩模(M)的，其中所述球面像差的显微镜用于一个...
- 申请日：2006-9-27 申请号：：DE102006045838
-
|