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| - 纳米级光学显微镜
- 中文摘要：本发明公开了用于纳米级光学显微镜的纳米级光学探针。 一种用于近场扫描光学显微镜的纳米级光学探针，包括 : 具有顶端，底端和主体的内导体； 与内导体接合的介电材料； 以及与介电材料接合的外导体，其中内导体在探针的尖端表面处比介电材料和外导体长。
- 申请日：2006-8-24 申请号：：US11509519
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- 制造用于表征扫描探针显微镜探针的尖端形状的结构的方法和由此制造的结构
- 中文摘要：一种用于确定用于原子力显微镜的探针尖端的形状的表征器以及制造和使用该表征器的方法。 所述表征器包括微机械加工的晶体结构，所述晶体结构具有相对边缘，所述相对边缘以适于表征所述探针尖端的尺寸的宽度隔开。 所述相对边缘中的至少一个以大于所述宽度的三分之一的悬垂距离悬垂所述微机械加工晶体结构的底切区域。 探针尖端横跨特征化...
- 申请日：2006-8-24 申请号：：US11466908
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- 探测器装置配备有扫描电子显微镜，探测器装置和探针的清洗方法
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种探测器装置能够抑制产生的一个上的氧化膜的一探针针。溶液 : 该探测器装置是配备有一用于清洗清洗室5配备有一机构的所述资源管理器所述探测器装置的一探针单元4通过使用离子或真空中的该等干法处理，和一个测量机构(一种制备室3，一种输送装置12，一测试晶圆13和一栅极阀6)用于确定所述所述探针的...
- 申请日：2006-8-22 申请号：：JP2006225563
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- 扫描探针显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 测量值相关的所述耗散或一值，它是成比例的散热能量，而不基于所述的前提下稳定状态。溶液 : 该显微镜配备有一激励装置12用于激励，一种悬臂2以下的谐振频率; 一用于检测所述位移的位移检测器10所述悬臂的所述尖端上的一探针2; 一个幅度依次获取所述振幅检测器20用于从一个信号从所述位移检测器10; 一...
- 申请日：2006-8-22 申请号：：JP2006225729
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- 显微镜装置
- 中文摘要：要解决的问题 : 以达到所产生的光损耗中降低从所述的光学路径重叠的照明光，关于一显微镜装置，其中样品从多个光源的照明光被发射的具有不同光波长带，和还，所述光学路径的各自发出的照明光从所述多个光源的重叠一个另一个之前，以形成一个单一的光学路径到达所述样品。溶液 : 所述的显微镜装置1包括 : 所述多个光源14a到14...
- 申请日：2006-8-22 申请号：：JP2006225604
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