要解决的问题 : 提供一种操纵装置能够高效地去除绝缘膜的,将一探针,以一个测量点和定位它有效地,和执行分钟时工作在可操作性和可靠性优异的直接测量所述一种深层的电特性的多层微布线,例如一种半导体集成电路,和分析一个有缺陷的点,同时观察样品和一针下所述的微型探针的点所述的可视场一显微观察图像。
溶液 : 所述...
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