|
| - 光电显微镜的物镜,用于所述紫外区的光谱与所述拉管∞
- 中文摘要:使用 : 所述的光学仪器制造之前,所述的光刻之前微电子工业,和,特别是,光刻对象的[DL]counterol,硅酸板和该等所述任务 : 一种由于以改进在所述物镜的光学参数[umensheni]的失真和[uvelicheni],[teletsentrichnosti],前部分和线性性别,和还在所述质量的改进的光学is...
- 申请日:2006-6-23 申请号::RU2006122497
-
- 显微镜物镜
- 中文摘要:显微镜透镜(3)包括一个光前元件(8),从每个其它光学元件间隔和从所述前元件和一个调节装置(11,12),其沿光学轴滑动,使得所述所述透镜的焦点位置是先进的相对于所述前元件在所述的光学轴的方向和\/或所述温度相关的成像错误被补偿。一个独立的权利要求是还包括用于一种用于微型-检查使用上述显微镜透镜的方法。优选的特征 ...
- 申请日:2006-6-23 申请号::EP06013006
-
- 扫描探针显微镜,用于扫描探针显微镜样品及其形成方法。
- 中文摘要:要解决的问题 : ssrm中,以提高检测能力的灵敏度,和以提高其空间分辨率。溶液 : 一个用于ssrm使用扫描探针显微镜测量包括第一放大器17用于放大一个信号从一个探针12,和输出一个放大的信号; 第一对数放大器18,用于所述放大的信号输出从第一放大器17转换成对数信号; 第二对数放大器19用于转换所述信号从所述探...
- 申请日:2006-6-22 申请号::JP2006172595
-
- 高次谐波的原子力显微镜
- 中文摘要:本发明涉及一种具有原子力显微系统,包括一个探头尖端的一个端上放置一杆臂(2),振荡装置(1)适于摆动,所述探针尖端基本上基于在所述基波频率的所述杠杆臂,所述系统包括控制装置(7)用于控制所述振荡装置,以改变振荡频率的所述尖端基于多个的谐波上的所述杠杆臂。本发明是,其特征在于,所述控制装置包括一个输入接收一代表一个操...
- 申请日:2006-6-21 申请号::WOFR06001406
-
- 长工作距干涉显微镜
- 中文摘要:本实用新型公开了一种长工作距干涉显微镜,包括:起偏器、分束器、长工作距显微镜和由两个光轴互相垂直的双折射直角棱镜粘合而成的渥拉斯顿棱镜,光源经过所述起偏器形成线偏振光,并经所述分束器反射后再通过所述渥拉斯顿棱镜,将入射线偏振光分成两束具有微小夹角并且振动方向互相垂直的线偏振光,该两束光投射到被测量样品上,从被测量样...
- 申请日:2006-6-21 申请号::CN200620117767.3
-
|