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| - 自动聚焦机构，用于所述显微镜
- 中文摘要：它描述了一种显微镜具有一个样品(2)沿一显微镜光线的路径说明物镜(4)和一个自动聚焦机构，其表现出一种自动聚焦的光线的路径，其在一分束器(6，11‘)为所述显微镜路径样品中说明的光线的方向在一个位置向所述的物镜(4)被链接，一个光调制器(12)用于所生产的两个维，强度-调制的调制物显示出，其中所述的自动聚焦的光线的...
- 申请日：2006-6-16 申请号：：DE102006027836
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- 相衬显微镜图像的对比度提高的方法，包括掩蔽作为扇区-等限制光束光的照明物体位于边界中空锥的表面，其中...
- 中文摘要：在顺序一用于所述的kontraststeigerung画面的过程的一个phasenkontrastmikroskops与所述路径射线的所述源光(1)上的一聚光透镜(3)与dne路径射线的限制环的屏幕(12)到该对象(4)作为阱作为该上的一个说明物镜(5)和一相环板(7)到一个中间画面(8)，其通过一个目镜的装置(9...
- 申请日：2006-6-14 申请号：：DE102006027961
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- 垂直照明光学系统用于显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一垂直照明光学系统用于一显微镜具有一个调整功能，以调整所述光源图像的位置到该响应中的每个显微物镜的焦点位置后，以替换所述显微物镜的透镜具有一简单的结构，在一个科勒照明系统使用一个冷凝器透镜阵列。溶液 : 在所述垂直照明光学系统用于所述使用所述的显微镜显微物镜还作为一聚光透镜; 和包括至少一个...
- 申请日：2006-6-13 申请号：：JP2006163088
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- 扫描电子显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜，其不需要预热。溶液 : 在所述扫描电子显微镜，激励电流被供给从一控制系统以一物镜透镜在一个观察模式。在所述待机模式，该控制系统的电源被切断和所述励磁电流供给以所述物镜从一个不同的电源从所述控制系统。版权 : (C)2008，inpit
- 申请日：2006-6-13 申请号：：JP2006163060
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- 反射式电子显微镜在电过程监测中的应用
- 中文摘要：一个实施例涉及使用电子检查衬底的方法。 在电子源和衬底之间的多个电压差的衬底的区域上执行反射镜模式电子束成像，并且存储对应于多个电压差的图像数据。 计算该区域中的特征的成像方面相对于电子源和衬底之间的电压差的变化的量度。 还公开了其它实施例和特征。
- 申请日：2006-6-13 申请号：：US11451698
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