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  • 用原子力显微镜确定样品的材料界面和计量信息的方法
  • 中文摘要:一种使用原子力显微镜确定样品的界面信息和 关键尺寸的方法。在关键尺寸信息处理之前,对扫描线执行末 端-样本去卷积。在多条扫描线上寻求每条扫描线的局部最大 值和最小值或者局部斜度改变。然后为多个最大值和最小值或 者斜度改变点寻求最佳拟合线。可以使用多个最大值或者最小 值或者斜度改变点寻求两条最佳拟合线。这两条最佳拟合...
  • 申请日:2006-6-9    申请号::CN200610094518.1

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  • 光源,用于荧光显微镜,具有电子调节光的亮度和寿命的约端提供信息的跨度源通过声或光信号到用户从检测到的...
  • 中文摘要:本发明涉及一种源的用于荧光显微镜的光; 其特征在于由所述的事实,它表现出一种恒定的亮度。
  • 申请日:2006-6-9    申请号::DE102006027518

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  • 扫描电子显微镜和电子束轴调整方法及其
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种扫描电子显微镜,其可以通过分配与廉价地制造一种自动调整枪对准器机构和一控制电路,和便于人工电子束调整。溶液 : 一个加速电压和一个用于一个灯丝加热电流被降低到低于一指定值。这种扩展所述电子束的曝光区域的标题,用于一阳极,以保证所述的电子束通过通过阳极孔。然后,重定向的调整是进行所述电子束...
  • 申请日:2006-6-8    申请号::JP2006159741

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  • 在氧自由基源中使用UV激发的电子显微镜的氧化清洗方法和装置
  • 中文摘要:本发明提供了一种用于清洁电子显微镜的样品和内部样品室以及类似电子束仪器的改进方法和装置。 所述装置由置于样品室端口或真空下置于样品室内的紫外光源氧自由基发生器组成。 在低于1托的压力下使空气或其它氧和氮混合物进入发生器。 所述UV源辐射低于190nm的UV波长,所述UV波长用于离解氧以产生氧自由基。 然后,氧自由基...
  • 申请日:2006-6-8    申请号::US11449475

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  • 物镜保护器和显微镜观测方法。
  • 中文摘要:本发明减少或去除所需要清洁的一个物镜,因此简化了该观察过程,防止细菌或污染从粘附到所述物镜,和保护所述物镜从外部将被施加力,其在清洗过程。本发明包括一种光学透明的覆盖配置到盖的至少一个端表面的一个物镜; 和一个连接机构配置成连接所述覆盖以所述物镜透镜。
  • 申请日:2006-6-8    申请号::EP06011840

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