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  • 力扫描探针显微镜
  • 中文摘要:一种在样品上进行力测量的力扫描探针显微镜(FSPM)和相关方法,包括压电扫描器,该压电扫描器具有支撑样品以便在三个正交方向上移动样品的表面。 FSPM还包括位移传感器,该位移传感器测量样品在垂直于表面的方向上的移动,并产生相应的位置信号,以提供闭环位置反馈。 另外,探针相对于压电扫描器固定,而偏转检测装置用于感测探...
  • 申请日:2006-5-16    申请号::US11383693

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  • 发光单元E。G。用于显微镜,具有光源,以产生光的光束,与具有倾斜反射镜到重定向的光线照明单元通过以显...
  • 中文摘要:本发明涉及一种照明单元(12)用于显微镜(11)用于所生产的照明光束路径,其中所述照明单元(12)一个偏转镜(7)用于重路由所述的照明光束路径上的所述objektfeld(6)的所述显微镜(11)显示出,其中所述偏转反射镜(7)作为微镜阵列(7‘)与单独可控和可调的微反射镜(40)是进行排列。或者或另外至少一个微显...
  • 申请日:2006-5-15    申请号::DE102006022590

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  • 用于扫描探针显微镜或物体修改的微加工电子束或离子束源和二次拾取器
  • 中文摘要:电子束或离子束成像和曝光系统被构建在AFM悬臂的末端,该悬臂使用AFM中内置的扫描能力成像。 在一个实施例中,硼掺杂金刚石冷阴极与相关联的加速电极和二次电子收集电极形成在悬臂中。 使用AFM将组件置于要成像或曝光的对象的几纳米范围内。 内置于悬臂组件中的一个或多个气体通道提供惰性气体的正压,以防止冷阴极的氧化侵蚀,...
  • 申请日:2006-5-15    申请号::US11383356

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  • 光源装置和显微镜装置
  • 中文摘要:要解决的问题 : 提取所希望的波长的光区域和弹出所述的光的多个提取的波长区域,在任意组合。溶液 : 一波长选择单元11是配备有一聚光透镜25,其发射该发射的光通过一个光源21a和发射所述平行光通量PF,与相对于光学轴线倾斜20,一种选择性反射光学系统26,其选择性地反射所述规定波长的区域在所述平行光的光通PF; 折...
  • 申请日:2006-5-15    申请号::JP2006135286

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  • 差动泵浦扫描电子显微镜
  • 中文摘要:

    要解决的问题 : 提供一种差动泵浦扫描电子显微镜能够容易地进行的维护和检查各种部件的一种电子-光系统和一个差动泵浦的孔容易制造的自旋完成一个管。

    溶液 : 该差动泵浦扫描电子显微镜连接的电子枪室1提供与一个电子源产生电子束,和一个样本室2中设置一样品它与一个镜筒部分7,其被提供用于所述电子束与内管14到内...

  • 申请日:2006-5-15    申请号::JP2006134607

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