要解决的问题 : 以保持高的SEM照片中的吞吐量-型缺陷检查装置,用于自动收集一有缺陷的图像现有的样品上,例如一半导体晶片或所述等。
溶液 : 所述缺陷检查方法使用SEM-型制备一种缺陷的检查装置包括一制备工艺检测成功率或通过至少一个缺陷检测成功地图单元中比较一个晶片单元或一个芯片单元; 一选择的选择过程...
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