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  • 一种显微镜的操作与一对象的照明单元包括控制所述对象平面中的光强度依赖于所述显微镜工作距离一固定表读取...
  • 中文摘要:本发明涉及一种用于企业过程的一个显微镜(1)与一照明单元(15)到照明一个与显微镜(1)认为是对象(10),其中所述工作距离(11)的所述显微镜(1)它是调整和所述照明(13是可变的)和观察光线的路径(14)通过主物镜(5)显微镜(1)运行,其中所述光所述对象中的强度电平(12)在所述工作距离的依赖关系(11)根据...
  • 申请日:2006-5-11    申请号::DE102006022073

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  • 激光扫描型显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以得到一种明亮的荧光图像通过减少所述荧光的损失,即使当该数量操作的激光束被多路复用与观察激光束被增加。溶液 : 所述激光扫描型显微镜1是配备有 : 一观察激光束源7; 一操作激光束源11; 一操作激光束多路复用装置15的多路复用多个操作的激光束L2和L3; 一扫描装置8进行扫描与所述观测激光束L1...
  • 申请日:2006-5-11    申请号::JP2006132675

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  • 显微镜的物镜限距报警装置
  • 中文摘要:本实用新型涉及一种显微镜的物镜限距报警装 置,包括控制电路、报警触发机构及报警信号执行机构,其特 征是:所述的报警触发机构包括与显微镜镜臂连接的导杆、行 程调节螺母、开关及与显微镜的镜筒连接的触压件;所述的行 程调节螺母固定在与物镜的最低安全距离对应的位置上,开关 设置在行程调节螺母上;当物镜下降至最低安全距离时,...
  • 申请日:2006-5-11    申请号::CN200620058758.1

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  • 缺陷检查方法,和扫描电子显微镜型使用扫描电子显微镜型缺陷检查装置检查装置
  • 中文摘要:

    要解决的问题 : 以保持高的SEM照片中的吞吐量-型缺陷检查装置,用于自动收集一有缺陷的图像现有的样品上,例如一半导体晶片或所述等。

    溶液 : 所述缺陷检查方法使用SEM-型制备一种缺陷的检查装置包括一制备工艺检测成功率或通过至少一个缺陷检测成功地图单元中比较一个晶片单元或一个芯片单元; 一选择的选择过程...

  • 申请日:2006-5-11    申请号::JP2006132188

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  • 显微镜和过程用于所述全内反射显微
  • 中文摘要:一种显微镜,以总内部反射镜,具有至少一个源的光(1)用于所述evaneszente照明; 如果需要一个调整单元(2)用于所述的照明光(6)和与一个物镜(4),由此两个所述的照明光(6)和检测光(7)在所述的照明光束路径(3)通过所述的物镜(4)待LED和由此,在该边界表面到一个样品(5)或样品盖最好是全-反射照明光...
  • 申请日:2006-5-10    申请号::DE102006021996

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