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| - 检测超微细结构涉及原子力显微镜的工作区域中设置半导体衬底，粗定位基板，每个传感器被在表面子区域，移动...
- 中文摘要：该过程根据本发明的用于所述收集的超微细结构，特别是在半导体基板，其特征在于，所述所述半导体衬底的工艺步骤(1)布置在所述一排列的多个AFM的工作区域，(2)的粗定位所述半导体衬底，使得每个所述表面的AFM是在一邻区其可被检查，(3)的运动所述半导体衬底，使得每个子范围是由一种AFM扫描线由线，其中所述AFM将不驱动...
- 申请日：2006-3-31 申请号：：DE102006015473
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- 用于扫描探针显微镜悬臂和装有该悬臂的扫描探针显微镜
- 中文摘要：公开了一种显微镜，包括原子力显微镜和近场光学显微镜，并且能够执行电化学测量和用于显微镜的悬臂。 在用作原子力显微镜探针的尖端透光材料上涂覆金属层； 所述金属层还涂覆有绝缘层； 仅在远端去除绝缘层以暴露金属层； 微露出的金属层用作工作电极； 该探针既可作为原子力显微镜和近场光学显微镜的探针，又可作为电化学显微镜的电极...
- 申请日：2006-3-30 申请号：：US11887348
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- 探针架和扫描探针显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一探针座，用于执行探针简单地和在短时间的变化而不troubling一个工人和被适用于本发明还涉及一种小尺寸的扫描探针显微镜。溶液 : 该测头保持架3被相对设置的一个试样S和用于在其上固定多个探针2各具有一探头2b上的杠杆的一个端部2a与所述基端侧所述杆部支撑在一悬臂状态的一个体部2c上。这种...
- 申请日：2006-3-30 申请号：：JP2006095150
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- 扫描探针显微镜，样品观察使用所述相同的方法，和装置的制造方法。
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜能够精确测量的三个样品的三维形状信息具有高吞吐量，而不给出的损伤到所述样品，并进一步，测量准确的样品的三-维形状信息，其包括垂直侧壁或端部。溶液 : 一种方法是提供在其中一个探针被带到与仅接触一个测量点，和所述探针是一旦拉向后时，航向到下一个测量点，和然后所述探针是带来到在...
- 申请日：2006-3-30 申请号：：JP2006095169
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- 凝集模拟器用于接触方式原子力显微镜，凝集仿真程序，记录介质记录与凝集仿真程序，和凝集仿真方法。
- 中文摘要：要解决的问题 : 以模拟凝集一表面具有一个交互和一探针之间的特性。溶液 : 一个处理部分找到一个所述探针的所述探头的位移和速度(S203-S207)，通过求解，直到一设定时间的一个方程当所述探头的一个侧运动的未附着与所述探针在一个悬臂被定位在所述一组探针的响应以一个初始位置。所述处理部分发现所述探针之间的交互和一突...
- 申请日：2006-3-30 申请号：：JP2006094243
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