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  • 用于扫描探针显微镜和扫描探针显微镜悬臂与它
  • 中文摘要:一种显微镜,包括两个一个原子间力显微镜和一近场光学显微镜和能够进行电化学测量的和一用于所述显微镜的悬臂。采用一个指向光-发射材料作为所述的一个原子间力显微镜探针与一金属层是涂覆; 所述金属层是还涂有一绝缘层,所述绝缘层是只去除在所述远端以露出所述金属层,所述稍微露出的金属层被用作一个工作电极,和所述探针可以可以使用...
  • 申请日:2006-3-30    申请号::WOJP06306648

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  • 使用相同的扫描电子显微镜和测量方法
  • 中文摘要:要解决的问题 : 提供一种扫描电子显微镜能精确测量的,而不使用任何标准样品,和以提供一种使用所述扫描电子显微镜测量方法。溶液 : 扫描电子射线(入射光线)被间歇地施加到样品6,当所述的电子产生的反向散射电子被施加到该样品6是由一反向散射电子探测器22检测,和所述时间之间的差所述的电子施加到该样品6和所述的反向散射电...
  • 申请日:2006-3-29    申请号::JP2006089722

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  • DLP型狭缝扫描显微镜
  • 中文摘要:DLP型狭缝扫描显微镜通过其一个狭缝光束被应用于DMD控制下,狭缝光束照明被执行,和一个位置和一个样品上的一个所述的照明光的范围和一个狭缝的宽度用于照明所述样品可以容易地调整。激光光束被扩散通过一个凹面透镜(2)的后焦平面上和聚焦一超高数值孔径的物镜(7)由一个凸透镜(3)。在一个DMD装置(4),一微镜控制中,以...
  • 申请日:2006-3-29    申请号::WOJP06306410

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  • DLP型瞬逝显微镜
  • 中文摘要:本发明提供了一种DLP由DMD型瞬逝显微镜能够产生瞬逝光的控制用于有效地使用所述照射光,增加所产生的位置精度,能容易控制,和容易地切换到另一照射的方法。激光由一个凹透镜(2)是发散光,由成平行光通过凸透镜(3)。当进入一个DMD装置(4)。在所述DMD装置(4),一环-形微反射镜是在控制的用于获取一角度的入射光超过...
  • 申请日:2006-3-29    申请号::WOJP06306409

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  • 调整一长度测量的方法或扫描电镜SEM
  • 中文摘要:

    要解决的问题:为了解决具有使用多极透镜的像差校正器的电子束设备在光轴调整时在像差校正器单元中的轴向匹配失败和在像差校正器之外的部分中的轴向匹配失败方面不清楚区分,因此需要花费长的调整时间的问题。

    解决方案:装置设置有用于操作像差校正器的扫描模式和用于不操作像差校正器的扫描模式,并且像差校正器和电容透镜等...

  • 申请日:2006-3-28    申请号::JP2006088092

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