要解决的问题:为了解决具有使用多极透镜的像差校正器的电子束设备在光轴调整时在像差校正器单元中的轴向匹配失败和在像差校正器之外的部分中的轴向匹配失败方面不清楚区分,因此需要花费长的调整时间的问题。
解决方案:装置设置有用于操作像差校正器的扫描模式和用于不操作像差校正器的扫描模式,并且像差校正器和电容透镜等...
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