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| - 镜电子显微镜，和利用镜子电子显微镜检查装置
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种用于检测一个缺陷的缺陷检查装置上形成一图案的部分一晶片在高的速度和在高精度，和通过获取一个稳定的反射镜的电子图像装置和由解决的问题，其由一镜电子显微镜获得的图像趋于以反映等电位表面的形状，以反映所述反射镜的电子，并使图像的解释会变得复杂，同时一个通用电子显微镜图像反映形状和一种样品的材料...
- 申请日：2006-2-6 申请号：：JP2006027850
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- 带电粒子束的装置，扫描电子显微镜和样品的检查方法。
- 中文摘要：要解决的问题 : 以允许用于一容易和快速选择一个检查配方的合适的用于采样从在许多检查配方。溶液 : 一计算单元14所述GUI上显示许多检测配方16。该检查配方包括一设定值用于控制一带电粒子柱照射带电粒子束以样品与许多特性值。用于显示，许多检查配方通过许多轴被设置在所述指定的坐标系统具有特性值(电荷鲁棒性，缺陷检测速...
- 申请日：2006-2-6 申请号：：JP2006028720
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- 共焦显微镜
- 中文摘要：一种尼普科系统中的共聚焦显微镜，其一种样品的一个区域可以被选择性地照射和观测使用一种DMD。照明光从光源(20)穿过聚光透镜(1)和一旋转滤光片(14)和撞击在一DMD(2)和仅所述上进行光-控制由所述DMD(2)和照明一种微镜区上撞击所述微透镜(5)的一个Nipkow盘组件。所述通过所述微透镜(5)是会聚的光通过...
- 申请日：2006-2-3 申请号：：WOJP06301826
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- 在反向光显微镜上倾斜照明载体的装置
- 中文摘要：一种在倒置型光学显微镜上倾斜照明载体的装置，所述倒置型光学显微镜包括显微镜支架，在所述显微镜支架上附接有具有光源的照明载体。 用于倾斜具有光源(3)的照明载体(2)的装置包括电动机(10)，通过该电动机可以控制照明载体(2)的倾斜运动，使得照明载体(2)的电动机控制的倾斜利用电动机(10)手动地进行。 执行元件或可...
- 申请日：2006-2-2 申请号：：US11345685
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- 扫描式共焦激光显微镜，及其控制方法，和程序
- 中文摘要：要解决的问题 : 以获得优良的显微图像具有期望的亮度通过简单的操作。溶液 : 一CPU12获取指定一种关于所述的显微图像的亮度样品1，调整所述强度一激光束照射到样品1的从一个激光束源9，所述的基础上的所述该亮度有关的指令，和一个光检测器7还调整所述的检测灵敏度检测反射的光从所述样品1，以其所述激光束照射所述的基础上...
- 申请日：2006-2-2 申请号：：JP2006025298
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