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| - 用于扫描探针显微镜探针更换方法
- 中文摘要:一个用于一个扫描探针显微镜探针替换的方法,其包括一悬臂(21)具有一个探针(20),和一个测量部分,用于测量所述探针和样品之间的物理量和其是用于测量一个样品表面上。该扫描探针显微镜包括一个悬臂安装部分(22),一悬臂盒(30),XY-级(14)和一Z-级(15)用于移动所述悬臂盒,和一个光显微镜(18)。所述扫描探...
- 申请日:2006-1-20 申请号::KR1020067001387
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- 扫描电子显微镜
- 中文摘要:要解决的问题 : 提供一种扫描电子显微镜,它是能够高速的焦点对准通过精确,简单; 和一个充电电压的快速自动测量一个样品室中的一晶片的表面,其中晶片的表面示出了不同的充电电压在所述外侧和所述样品室的内部。溶液 : 一个用于施加减速电压的电极板上方设置一样品被分割成两个部分,和所述每个所述分割的电极板的电位被用于测量所...
- 申请日:2006-1-20 申请号::JP2006012744
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- 系统和方法用于一个扫描吊杆显微镜
- 中文摘要:一扫描吊杆显微镜包括一个光学轴,其可以被改变成任何轴或方向相对于圆形位移关于一种光学悬臂支持所述扫描悬臂的自由空间中的显微镜的物镜。因此,扫描吊杆显微镜可以被定位以观察自由站立样品远离所述显微镜基。
- 申请日:2006-1-20 申请号::WOUS06002135
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- 扫描探针显微镜
- 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜,构成以容易地执行所述光点位置当一悬臂的对准是与一暗场照明状态中的光照射,具有相对于所述物镜用于观察一个光点,或当所述光点是难以识别从所述的紫外波长或红外射线。溶液 : 在所述扫描探针显微镜,设置与该悬臂2具有一探头2a,一光源5用于该悬臂与光照射和一个光检测部分6用于检测...
- 申请日:2006-1-20 申请号::JP2006012860
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- 方法和装置,用于调节自动扫描电子显微镜的电子透镜的轴
- 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一种方法和一种装置用于调整的自动电子透镜的轴一种扫描电子显微镜能自动调节的一个轴的所述的电子透镜在高精度。溶液 : 该扫描电子显微镜是由一个电子源1产生的电子束2; 一电容器透镜4的控制电流量所产生的电子束2; 一电容器-镜片-轴校正所述电子束偏转器3设定所述电容器透镜2到所述的轴4; 一偏...
- 申请日:2006-1-19 申请号::JP2006010679
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