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| - 共焦激光扫描显微镜与可更换的光学源和检测器连接单元
- 中文摘要：当交换一个二向色镜(27)，以检测一个不同波长的荧光，它是不必要的，以进行精确位置调整，特别在一紧凑的检查装置，和所述二向色镜(27)可以容易地交换。本发明提供了一种连接单元包括一个光-源光纤(7)，可拆卸地连接到所述光源(3); 用于输送所述激励光从所述光源(3); 一个准直器透镜(24)，用于从所述光-源发出的...
- 申请日：2006-1-19 申请号：：EP06001116
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- 控制装置和控制方法用于使用用于扫描电子显微镜的电子枪或等
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种装置和方法能够最佳地设定的偏置电压的一个电子枪，而不需要复杂的操作。溶液 : 在所述的方法从灯丝发射电流控制的所述的电子枪提供与多个所述灯丝之间设置电阻和一个从每个其它Wehnelt电极具有电阻值不同，一个设置，用于将一个加速电压为相同数量的区域的范围为 : 所述的电阻，被接受，和所述电...
- 申请日：2006-1-19 申请号：：JP2006011127
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- 显微镜和样品观察方法
- 中文摘要：对于作为检查对象的半导体器件S， 本发明提供一种图像取得部1， 一种光学系统(2)，包括物镜(20)和固体浸没透镜(SIL)3，该固体浸没透镜(SIL)3可在包括从半导体器件(S)到物镜(20)的光轴的插入位置和离开光轴的待机位置之间移动。 然后，在两种控制模式下进行观察，所述两种控制模式包括第一模式，在所述第一模...
- 申请日：2006-1-18 申请号：：US11333550
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- 扫描电子显微镜，其维护\/管理程序，维护\/管理方法，和扫描电子显微镜系统中资源分配方法
- 中文摘要：要解决的问题 : 对便于管理\/维护的一种扫描电子显微镜中进行性能评价的一个相对简单的和purposive方式。溶液 : 深度的聚焦(S40，S80)被计算与所使用的一个线图案，以被一标准作为观测数据，和所述计算的聚焦深度被使用作为性能评价的索引(S42，s82)。用于实例，所述计算的聚焦深度的一个值和所述标准的深...
- 申请日：2006-1-18 申请号：：JP2006009532
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- 聚焦装置，显微镜，和聚焦处理程序
- 中文摘要：要解决的问题 : 以自动改变聚焦高度而不释放跟踪控制，以跟踪样品。溶液 : 该聚焦装置100是配备有 : 一聚焦装置，用于改变一个相对一样品之间的距离S其表面上具有一种电平的差值和一个物镜3a; 用于形成光点的色差校正透镜9通过点的图像光投影到所述样品S一种图像形成表面上的IP; 一个光学元件的移动装置，用于移动所...
- 申请日：2006-1-18 申请号：：JP2006010227
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