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| - 外差差拍探针扫描探针显微镜和使用microsignalsupperposed在隧道电流的测量方法,它
- 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一个外差差拍探针扫描探针显微镜能够容易地和可靠地检测的一个微RF信号,和一个指定方法的一个外差差拍引起的信号到所述扫描探针显微镜。溶液 : 一已知的外部叠加参考高频率(RF)信号或一外部叠加参考电磁信号和一个未知高频率信号或一个未知的电磁波信号被施加在所述样本集以所述扫描探针显微镜(SPM)...
- 申请日:2006-1-4 申请号::JP2006000007
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- 用于切换照明设备的商业传输型显微镜以荧光显微镜,具有光发光二极管作为光源,和受激的光控制在探针上集中...
- 中文摘要:该设备具有一个蓝色发光二极管(1),其被用作一个光源,其中所述二极管激励一个光。所述激励光被控制在一个集中器(2)上的一个探针(4),和不导通由一透镜(6)。所述集线器其边缘的点处被反射,并被用于补偿的调整在其高度一聚光透镜。所述点是微光学器件上实现的用于聚焦的光。
- 申请日:2006-1-3 申请号::DE202006000018
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- 使用电子显微镜测量尺寸的方法和装置
- 中文摘要:本发明公开了一种扫描电子显微镜(SEM),用于实现需要通过低S/N信号波形测量尺寸的样品,例如ARF曝光光致抗蚀剂的高精度尺寸测量。 为此,预先配准从尺寸测量目标样品和相同种类的样品材料获得的样品信号波形(或图像)的部分波形(或部分图像),组合从尺寸测量目标样品和样品配准波形获得的测量目标信号波形(或图像),并且基...
- 申请日:2006-1-3 申请号::US11322560
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- 使用电子显微镜测量尺寸的方法和装置
- 中文摘要:本发明公开了一种扫描电子显微镜(SEM),用于实现需要通过低S/N信号波形测量尺寸的样品,例如ARF曝光光致抗蚀剂的高精度尺寸测量。 为此, 预先配准从尺寸测量目标样品和相同类型的样品材料获得的样品信号波形(或图像)的部分波形(或部分图像), 合并从尺寸测量目标样本和样本配准波形获得的测量目标信号波形(或图像),并...
- 申请日:2006-1-3 申请号::US11322560
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- 透射电镜,具有图像记录单元附着到投影室,和形成的光导出的图像从电子图像样品,屏幕上,并且用户中心电平...
- 中文摘要:所述可用本发明的主题是一种电子显微镜,其与至少一个电子枪(1)和一个投影室(2)被设置。两个上述单元(1,2)被设置沿一辐射轴(S)。一个被附加到所述投影室(2)分配的画面版本单元(3),其从一种电子的图像一个样品(6)导出的光子一荧光屏幕(6)上的图像扫描。一个操作者的中心电平根据本发明运行(s)(E)和所述辐射...
- 申请日:2005-12-31 申请号::DE102005063142
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