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| - 原子力显微镜的晶片对准级
- 中文摘要：目的 : 一晶片对准级结构的AFM(原子力显微镜)被提供给重新对齐晶片或一样品在一晶片对准级真空中。结构 : 一晶片对准AFM级的结构包括一对准级; 一手柄，和一表。所述对齐阶段(32)是用于移动和对准一个样品(50)的一个样品晶片。所述手柄(31)被安装在所述对准级，以对准所述样品。该晶片对准级被可执行的一个表面...
- 申请日：2005-12-28 申请号：：KR1020050131608
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- 一种装置，用于固定扫描电子显微镜的样品
- 中文摘要：目的 : 一种装置，用于固定一种扫描电子显微镜的样品是提供以提高的操作比通过减少设备损耗时间因到螺栓的损耗。结构 : 一种装置，用于固定一个样品(2)的一种扫描电子显微镜包括一壳体(1)，一固定板(10)，一固定销(20)，一个弹簧(30)，一个支撑杆(40)，和一钩状单元(50)。一种对的导向孔(1b)被形成在所...
- 申请日：2005-12-28 申请号：：KR1020050132544
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- 扫描探针显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以固定一悬臂不被错位，即使如果所述悬臂被移动，在高速度，和以固定\/拆卸简单地所述悬臂上\/从一悬臂保持架，在一个扫描探针显微镜。溶液 : 该悬臂保持架1用于固定所述的悬臂4上具有一探头8所述尖端被使用; 和所述的悬臂4的一个面是允许以粘附到所述悬臂保持架1，和由此所述悬臂4被固定，通过使用一种低...
- 申请日：2005-12-28 申请号：：JP2005377736
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- 在扫描电子显微镜的周期性畸变的消除方法
- 中文摘要：
- 申请日：2005-12-28 申请号：：PL37854605
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- 临界尺寸-扫描电镜系统的匹配方法
- 中文摘要：目的：提供一种CD(Critical Dimension)-SEM(Scanning Electron Microscope，扫描电子显微镜)的匹配方法，无论工作人员的熟练程度如何，都能够容易地进行匹配作业，从而提高正常工作时间，并将标准晶片的变形的影响抑制在最小限度。 构成：选择CD-SEM之一作为基准设备(S1...
- 申请日：2005-12-27 申请号：：KR1020050130934
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