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| - 定量的分析方法用于使用光学显微镜的表面粗糙度
- 中文摘要：目的 : 一种用于定量方法分析该表面粗糙度通过使用光学显微镜是提供以定量地评价所述表面粗糙度通过使用一蚀刻工艺后所述的光学显微镜。结构 : 一种用于定量方法分析所述后表面粗糙度一蚀刻工艺在硅晶片制造过程包括测量所述的步骤的一个表面的图像该硅晶片与一光学显微镜(210)，测量一灰度色调等级的横截面的曲线根据以一种通过...
- 申请日：2005-12-20 申请号：：KR1020050126461
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- 显微镜系统，和观测方法和程序
- 中文摘要：要解决的问题 : 提供一种显微镜系统能够容易地和快速观察的一个期望的位置的一个对象，观察方法和使用该显微镜观察程序的系统。溶液 : 在所述的显微镜系统，一个用户的样品安装架上安装一个样品原子力显微镜(步骤S1)，并且观察该样品与一种光学显微镜(步骤S2)。所述用户调整所述所述的光学显微镜的放大率与所述的光学显微镜观...
- 申请日：2005-12-19 申请号：：JP2005365580
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- 扫描探针显微镜装置
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供具有改善的操作性的一个扫描探针显微镜装置当被检查对象是由以接近探针从一排空位置到一适当的位置。溶液 : 所述扫描探针显微镜装置包括一其上安装架11所述检查对象被安装，一探针用于加压和扫描探针显微镜5连接到所述安装架上的一悬臂到所述检查对象11和创建所述检查对象的形状数据表示所述表面形状，和一...
- 申请日：2005-12-19 申请号：：JP2005365356
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- 扫描探针显微镜装置，和用于相同的程序
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜装置能够适当地确定的调整灵敏度的程度，即使当所述检查对象具有一个不清楚由于该表面上的不规则轮廓。溶液 : 所述扫描探针显微镜装置包括一扫描控制部24用于往复式和扫描探针附着到一悬臂在所述检查对象，一个高度控制部分基于所述探头26用于控制所述的高度在所述从一个目标值的偏差所述...
- 申请日：2005-12-19 申请号：：JP2005365355
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- 精细调整装置和扫描探针显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以解决该问题，其中一个管-型压电元件被损坏的热循环中，在一个扫描探针显微镜或该等。溶液 : 该精细调整装置，用于制造一种压电元件的所述其它端部体进行微动，是配备与所述压电元件本体形成为一圆柱形形状并具有一形成缺口部到一个端部及其，一固定架，其固定所述压电元件的一个端部体和不同的从所述压电元件体中由...
- 申请日：2005-12-19 申请号：：JP2005364881
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