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  • 适配器用于显微观察,显微观察方法,和显微镜装置
  • 中文摘要:

    要解决的问题 : 以缩短所需要的时间用于通过制造一微小的检查对象的检查部,其被仅一个不可区分的亮度对比度图像,可区分的,即使在低放大率。

    溶液 : 所述适配器1用于显微观察被照明光之间的一分支点11之间设置L1<\/SB>和反射的光L2<\/显微镜的Sb>8,和一个检查对象和构成是通过将两...

  • 申请日:2005-10-7    申请号::JP2005295475

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  • 显微镜装置
  • 中文摘要:一种显微镜装置具有一备用单元与一个垂直运动驱动部分,用于一物镜和具有一个基座单元具有一个垂直运动驱动装置用于一XY载物台。当所述支架单元被连接到所述基座单元,该运动的范围在所述的垂直方向一物镜透镜驱动部和所述范围所述级在所述的垂直方向运动的驱动部分被从每个其它设定为不同的。
  • 申请日:2005-10-7    申请号::WOJP05018630

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  • 一光源调整的方法在一显微镜
  • 中文摘要:可用本发明涉及一种过程,与其中所述的照明辐射,其可以被联到所述的照明光束路径一种显微镜的可被精确地控制和\/或调节。美元一与所述用于所述调节过程根据本发明的一个源的光在一显微镜成为所述物镜的位置中一个示出了光反射单元,以说明(6)耦合到所述的显微镜,在顺序所述源的所述的光的光,从而在一个检测器(9),其控制的所述聚...
  • 申请日:2005-10-6    申请号::DE102005048555

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  • 试样观察在所述相同的方法和用于使用电子显微镜
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一个电子显微镜,其可充分提高工作效率,当所观察的一个样品被重新启动。溶液 : 一控制装置18被设置用于控制所述观测条件设定装置包括一个电子枪的控制装置11,一种照射透镜控制装置12,一物镜透镜控制装置13,一个放大透镜控制装置14,以及一个样品台控制装置15。当一个一定的样品被指定的图像数据...
  • 申请日:2005-10-6    申请号::JP2005293636

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  • 根据扫描电子显微镜图像精确测量小物体尺寸和线宽粗糙度的方法
  • 中文摘要:一种根据扫描电镜图像精确测量微小物体尺寸和线宽粗糙度的新方法,是对现有方法的改进,实现了新的测量策略。 该方法对视频信号的噪声具有较高的稳定性。
  • 申请日:2005-10-6    申请号::US11244357

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