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  • combtooth-形探针,原子力显微镜配备有它,和位移测量方法。
  • 中文摘要:

    要解决的问题 : 提供一种combtooth-型探针在产品中的不规则性和增强产品的成品率降低。

    溶液 : 所述梳齿形探针10包括一固定部分1,一可动部2,一探针3和一支撑部4。一种combteeth驱动10a是构成,使得所述梳齿形凹凸部的所述固定部分1和所述梳齿形凹凸部的所述可动部分2中被啮合与每个其它一...

  • 申请日:2005-9-27    申请号::JP2005279220

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  • 使用低能量nanopatterning的有机和金属薄膜的原子力显微镜系统
  • 中文摘要:目的 : 一种方法用于制造一种纳米一金属薄膜的图案是提供以最小化所述的散射一个样品中的电子,以防止所述损伤该样品通过使用一低能量的AFM(原子力显微镜)系统。结构 : 一种有机抗蚀剂被涂覆在一衬底。一种电场是该所得结构上形成由一探针之间施加预定电压和所述基板使用一低能量的电子照射的AFM。物理该有机抗蚀剂的性质被改...
  • 申请日:2005-9-27    申请号::KR1020050090077

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  • 显微镜装置和激光单元
  • 中文摘要:要解决的问题 : 以提供一显微镜装置能够光学路径的一激光光源之间的切换及一种照明光学系统的一种图像增强所述的再现性被观察到,和以提供一激光单元。溶液 : 所述的显微镜装置包括激光光源(1和2),照明光学系统(21和22)用于该显微镜; 它是用于照亮的物体(O)被观察到,和一开关机构(30)之间设置所述激光光源和所述...
  • 申请日:2005-9-27    申请号::JP2005280181

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  • 扫描探针显微镜及扫描方法
  • 中文摘要:为了提供一种扫描探针显微镜和扫描方法,其能够精确地接近或接触探针和样品表面,而与样品表面的不规则形状无关, 它包括用于相对执行的探针2, 对于样品表面S, 在平行于样品表面S的两个方向上扫描和在样品表面S的垂直方向上的移动, 检测装置(4),用于检测随着探针(2)和样品表面(S)之间的距离而变化的测量量; 在探针2...
  • 申请日:2005-9-26    申请号::US11235458

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  • 控制电子装置的显微镜,电子显微镜用于控制电子显微镜系统和方法
  • 中文摘要:

    要解决的问题 : 以获得精确的结果的观察和分析中的样品,即使在不具有专家知识和能力,电子显微镜中设置有X射线分析仪。方法 : 数据共享对象7,用于加快SEM的通信控制数据8,71,和反馈测量结果的EDX侧控制的SEM侧条件实时,加入到计算机用于控制SEM硬件1和3构成的EDX硬件2的X射线探测器和能量分配式X...

  • 申请日:2005-9-26    申请号::JP2005278066

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