要解决的问题 : 以提供一个小的等离子发生器上的噪声和防止不良影响几乎不影响一个图像检测系统由等离子体中产生的光,以提供一种扫描电子显微镜。
溶液 : 所述等离子体发生器包括一圆柱形石英管60内部,用于电离气体流,一个高频率线圈63缠绕在该尖端部的所述石英管60,一种模具65覆盖所述的外周所述石英管60和...
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