- 电子显微镜的磁场施加装置
- 中文摘要:
要解决的问题 : 以提供一磁场施加装置的一个电子显微镜,其特征在于,所述应用校正角度一样品可以增大而增大的所述的装置。
溶液 : 该传输电子显微镜所述的磁场施加装置包括多个偏转器的以swingingly返回所述光学轴线偏转一个产生的电子束照射的同时与所述磁场的应用到所述光学轴线,并被形成使得所述一个偏转器...
- 申请日:2005-9-15 申请号::JP2005268267
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- 安全系统用于一种显微镜,其发射的激光辐射
- 中文摘要:本发明涉及一种装置,特别是一种显微镜,其发射的激光辐射,包括一个激光器(12)与一控制(13),其是用于控制所述激光(12),至少两个端口,它被用来连接一各个模块(8,9,10,14,15,23),由此可以被发射的激光辐射从该端口(16,17,18; 19,20,21)。本发明装置还包括两个计数器件传感器(35,5...
- 申请日:2005-9-14 申请号::WOEP05009900
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- 显微镜系统和方法。
- 中文摘要:该显微镜(10)包括这样的主结构部分为一光源组件(12); 和一个根据本发明配置的光学系统(16),和在本例中,显微镜(通常的成像)系统配置还包括一个检测单元(14)(在该图5中虚线所示)。所述检测单元(14)可以被配置以定义一个图像的像素阵列(E。G。CCD),可以被配置用于增强或不增强光的检测,以及作为用于选通...
- 申请日:2005-9-14 申请号::WOIL05000976
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- 图像处理器和处理方法,和扫描电子显微镜
- 中文摘要:
要解决的问题 : 提供一种图像处理器,用于提高所述的成功率和精度的图案匹配两个图像,而不会降低该长度测量的所述检查工作的效率或等,一种图像处理方法。和一种扫描电子显微镜。
溶液 : 该扫描电子显微镜10包括所述图像处理器4用于执行所述图案的匹配第一图像和一个第二的图像。所述图像处理器4包括 : 一个彩色编...
- 申请日:2005-9-14 申请号::JP2005267506
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- 扫描电子显微镜和图像信号处理方法。
- 中文摘要:
要解决的问题 : 以提供一个SEM能够测量和调节的动态范围的亮度的强度一显示图像,并提供一种图像信号处理方法。
溶液 : 所述SEM10被提供有一动态范围的参考值设定部21以设定所述动态范围的参考值,一个动态范围调整部22以输入一观察图像信号输出通过一个二次电子检测器16,以调整所述的动态范围基于所观察的...
- 申请日:2005-9-14 申请号::JP2005267089
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