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| - 物镜和显微镜配备与其
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一物镜使得操作者可靠地识别所述的接触所述的边缘所述物镜与所述样品的样品或所述状态变化与简单的结构，和一与其显微镜。溶液 : 当一透镜11a通过一个透镜保持架11保持接触，与所述样品O，一个内筒10中，其中所述透镜保持架11是容纳进退。当所述内筒10进退，一种从一压力敏感传感器30检测信号被输...
- 申请日：2005-7-5 申请号：：JP2005196302
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- 用于扫描探针显微镜和原子力探针表征的SOI技术的硅，GaAs，GaxAlyAsz的选定位置背面去层的...
- 中文摘要：一种用于暴露和探测半导体工件中的特征的装置，包括中空的集中器，用于覆盖通过气体导管连接到蚀刻剂气体供应源的工件的一部分。 工作台支撑并定位半导体工件。 控制装置依次将载物台和半导体工件移动到一系列位置。 一能量束源在蚀刻剂气体存在下将聚焦的能量束引导通过穿过聚光器的孔到工件表面上的区域上。 控制装置将工作台相对于聚...
- 申请日：2005-7-5 申请号：：US11160667
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- 扫描探针显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以解决该问题，其中所述用于移动探头所需的序列变得复杂，当绘制复杂的图，并且它已经难以获得令人满意的位置再现性，该限制在其下方的所述相对所述探针和样品的运动可以通过一闭合环路控制。溶液 : 所述探针和样品被紧密排列的彼此面对，所述探头和所述的相对位置和这种扫描探针显微镜中所述样品被改变。所述扫描探针...
- 申请日：2005-7-4 申请号：：JP2005194555
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- 用于显微镜的照明机构
- 中文摘要：可用本发明涉及一种用于显微镜的照明装置，与其在特定的一种白光的照明与全日光光谱和\/或一建议源的光用于荧光着色材料是可用的。所述根据本发明用于一种显微镜的照明机构由设置光的光源，其被连接与一个控制任意的照明单元，用于所生产的样品和照明谱，和一个片状或空间上的照明光学系统到所述所述对象上的这些照明的样品说明其可以被检...
- 申请日：2005-7-1 申请号：：DE102005030761
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- 电子束调整方法，带电粒子光学系统的控制装置和扫描电子显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种带电粒子束辐照的方法和一种带电粒子束的装置适用于减少聚焦偏移，放大波动，测量所述带电粒子光束中的长度误差引起的装置通过一个样品上的充电。溶液 : 为了达到上述目的，本发明提供一种所述样品上的电位分布测量所述的方法由所述样品上的静电电位计用于测量所述电位，同时所述样品中携带在通过一个进位机...
- 申请日：2005-7-1 申请号：：JP2005193288
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