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| - 扫描探针显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 使用一光学显微镜中，以解决的问题，它是硬到对准一个样品与一个所述的探针同时进行从背面观察样品。溶液 : 该扫描探针显微镜包括面向所述探针所述样品，一种用于将所述标本样品台在其放置表面，和一个扫描器用于扫描所述样品台在该放置表面的方向而改变其高度，以及显示一个图像基于检测的信号通过所述探针和所述样品...
- 申请日：2005-6-22 申请号：：JP2005181358
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- 至少一个检测的方法使用一激光扫描显微镜样品区域与点状光源分布
- 中文摘要：第一扫描系统(3)具有扫描器(18)，扫描器(18)与变焦透镜系统相关联，并且在与光轴成直角的扫描轴上移动光斑。 可以同时检测样品上的几个点或区域。 一种检测器系统具有两个可移动狭缝(26，26')，形成用于检测器(28)的第二扫描系统。
- 申请日：2005-6-21 申请号：：GB0512605
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- 形成装置的成像扫描电子显微镜的配方，其方法，半导体图案和形状的评价装置
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一种形成一个成像配方的装置及其方法能够优化的由教学，一种自动选择规则用于形成所述成像的配方，在SEM装置或所述等。溶液 : 将该形成装置，用于形成所述成像配方用于执行一种半导体图案的SEM观察通过使用一种扫描电子显微镜，其特征在于，配备有一数据库805用于输入所述半导体图案的布局信息与一低供...
- 申请日：2005-6-21 申请号：：JP2005180457
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- 扫描探针显微镜与光学显微镜
- 中文摘要：要解决的问题 : 以提供一个扫描探针显微镜与一光学显微镜，其中一个单元中设置在一个窄的空间，同时保持该光学显微镜和扫描探针显微镜的刚度，一物镜透镜是可更换的，一种照明聚光透镜是可用的，和执行测量是不被影响的振动，声音或温度改变。溶液 : 所述扫描探针显微镜单元1与光学显微镜包括 : 一扫描探针显微镜单元基部3用于设...
- 申请日：2005-6-20 申请号：：JP2005179385
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- 激光扫描显微镜与点状源分配和使用方法
- 中文摘要：显微镜的光图案具有至少一个照明模块。本发明提供了用于改变激光光分布到至少两个发光通道。然后，所述装置提供了一种普通照明或在同一或不同区域样品的辐射的样品。本发明涉及一种用于；(a)结合这种光学显微镜操作单元；以及(b)使用这样的装置。
- 申请日：2005-6-17 申请号：：GB0512341
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