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| - 与线性扫描光扫描显微镜
- 中文摘要：第一光源((zl)LQ1)通过光通过一个圆柱形透镜和一个消色差(st)的光分束器。光可以进入直-上通过可动透镜(L1，L2)的一扫描器(So1)和穿过固定透镜(TL，O)及一狭缝光瞳(P)该样品。反射的光可以通到一个线路扫描器(linienscanner)与一个线检测器和多个狭缝孔径(DE1)。一分束器(ft1)中...
- 申请日：2005-6-15 申请号：：EP05012840
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- 激光扫描显微镜与一照明单元
- 中文摘要：所述四个激光器(A～D)的通光通过快门(8)和衰减器(9)以控制该强度和混合物的比例所述的各种激光颜色。所述衰减器被连接到耦合装置(10)在所述光纤的端部(11)。光从所述光纤是混合使用反射镜(14，15)，其中一些是半。
- 申请日：2005-6-15 申请号：：EP05012839
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- 至少一个的方法，用于获取感兴趣的区域与一个具有一个线性照明光扫描显微镜
- 中文摘要：该显微镜(1)具有一第一扫描系统(3)，它使一光源(2)之间的相对移动和一个样品。三-维扫描可以预先形成的由一扫描器(18)相邻，以一种变焦透镜装置(41)。一个矩阵探测器装置(28)可以被后面安装一可移动的狭缝(26)。所述扫描系统可以使用谐振质量。
- 申请日：2005-6-15 申请号：：EP05012838
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- 扫描电镜和半导体成像装置及其方法把图案器件的形状的配方
- 中文摘要：在成像配方采用扫描电子显微镜生成装置，以创建用于SEM的观察成像的配方的半导体图案，为了测量成像配方的线宽和其它各种图案的尺寸值从观察图像，从而评估图案的形状在最小时间的自动生成分析使用所述CAD图像从CAD数据转换得到的，一种CAD图像创建单元创建的CAD图像通过转换CAD数据转换为图像格式包括图像量化宽度确定部...
- 申请日：2005-6-15 申请号：：JP2005174559
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- 激光扫描显微镜和使用
- 中文摘要：所述的照明模块(2)具有两个激光组件(6，7)与三个激光器的一个组(B，C，D)和一单激光(A)，进给不同波长的光到光纤(11)。一第一扫描区域(3)具有纵向可移动透镜(12，13)。光从所述两个光纤维是混合使用完全和部分反射镜(14，15)。所述的光穿过一个共焦光束形成装置(16)。本发明是一种还部分地反射镜(1...
- 申请日：2005-6-14 申请号：：GB0512030
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